本文關(guān)鍵詞：基于準(zhǔn)分子激光的X光掩膜板與壓電陶瓷加工

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【摘要】：隨著元器件的微型化、精密化發(fā)展,對(duì)快速微細(xì)加工提出了巨大需求�；跍�(zhǔn)分子激光微細(xì)加工技術(shù),以串行加工方式加工了X光掩膜板圖形結(jié)構(gòu)和壓電陶瓷(PZT)微結(jié)構(gòu)。研究了波長(zhǎng)為248 nm KrF準(zhǔn)分子激光微細(xì)加工技術(shù)的最優(yōu)加工條件,獲得了高質(zhì)量的X光光刻用的掩膜板和PZT微結(jié)構(gòu)。基于X光掩膜板,采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)為光刻膠進(jìn)行X光光刻,獲得了高深寬比的六角形蜂窩微結(jié)構(gòu)。通過(guò)輸入不同的加工參數(shù)來(lái)激光加工PZT基板,獲得了加工參數(shù)與PZT基板加工深度的關(guān)系。通過(guò)對(duì)加工好的PZT微結(jié)構(gòu)和六角形蜂窩微結(jié)構(gòu)的測(cè)試,結(jié)果表明利用準(zhǔn)分子激光器可實(shí)現(xiàn)快速微細(xì)加工的目的。
【作者單位】： 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院理學(xué)院;日本立命館大學(xué)微系統(tǒng)系;
【關(guān)鍵詞】： 微細(xì)加工 準(zhǔn)分子激光 X光光刻 X光掩膜板 壓電陶瓷(PZT)
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(51035005) 上海市聯(lián)盟計(jì)劃資助項(xiàng)目(LM201441) 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院光電精密檢測(cè)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目(10210Q140005);上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院引進(jìn)人才啟動(dòng)基金資助項(xiàng)目(YJ2014-03)
【分類號(hào)】：TM282
【正文快照】： 0引言為滿足科學(xué)技術(shù)日益發(fā)展的需要,元器件正在朝微型化和精密化方向發(fā)展。不同于傳統(tǒng)加工,先進(jìn)制造技術(shù)如微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù),激光微細(xì)加工技術(shù)正是在這樣的背景下蓬勃發(fā)展的。激光微細(xì)加工是透過(guò)空氣、惰性氣體和透明體對(duì)工件實(shí)現(xiàn)加工,是一種無(wú)接觸加工的先進(jìn)制造技

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前4條

1 白萬(wàn)青;李以貴;陳翔;;基于LIGA技術(shù)制作金屬微針陣列[J];微納電子技術(shù);2012年02期

2 陳少軍;李以貴;杉山進(jìn);;應(yīng)用X射線光刻的微針陣列及掩模板補(bǔ)償[J];光學(xué)精密工程;2010年02期

3 李以貴;杉山進(jìn);;用同步輻射光刻直接在有機(jī)玻璃板上制備高深寬比亞微米光柵[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2010年05期

4 李以貴;杉山進(jìn);;基于移動(dòng)LIGA工藝的微針陣列的設(shè)計(jì)與制作[J];納米技術(shù)與精密工程;2009年01期

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 杜立群;李成斌;李永輝;于同敏;;超聲時(shí)效技術(shù)在微注塑模具制作中的應(yīng)用[J];光學(xué)精密工程;2012年06期

2 孫天希;劉志國(guó);李玉德;林曉燕;羅萍;潘秋麗;楊科;袁灝;丁訓(xùn)良;;毛細(xì)管X光會(huì)聚透鏡在潛指紋提取中的應(yīng)用[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年04期

3 朱咸昌;曹學(xué)東;吳時(shí)彬;張鵬;;基于光柵多縫衍射的轉(zhuǎn)角法測(cè)量微透鏡焦距[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年05期

4 孫天希;劉志國(guó);李玉德;林曉燕;羅萍;潘秋麗;劉鶴賀;袁灝;丁訓(xùn)良;;毛細(xì)管X光透鏡在塑料物證溯源中的應(yīng)用[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年05期

5 馬國(guó)軍;吳承偉;;微針設(shè)計(jì)與刺入過(guò)程力學(xué)問(wèn)題研究進(jìn)展[J];力學(xué)進(jìn)展;2012年03期

6 閆肖肖;沈修成;劉景全;王亞軍;孫文強(qiáng);徐宇虹;;用于藥物傳輸?shù)腗EMS平面金屬微針[J];納米技術(shù)與精密工程;2009年05期

7 龔冬梅;孫小芳;王巨峰;莊琳玲;;塑料光柵生物傳感器的傳感特性分析[J];華僑大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2014年03期

8 李以貴;謝長(zhǎng)生;廖哲勛;朱軍;;基于轉(zhuǎn)寫技術(shù)的微針陣列制備與強(qiáng)度特性測(cè)試[J];納米技術(shù)與精密工程;2014年03期

9 李以貴;杉山進(jìn);;基于同步輻射光刻工藝和電鑄工藝的金屬納米光柵模具制備[J];中國(guó)激光;2014年11期

10 黃遠(yuǎn);李以貴;顏平;杉山進(jìn);;微針采血與離子濃度檢測(cè)一體化裝置的研制[J];納米技術(shù)與精密工程;2015年06期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 董穎懷;一種微型渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)及其制造技術(shù)的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2009年

2 鐘金明;三維金屬微結(jié)構(gòu)模具的疊層擬合成形與應(yīng)用[D];深圳大學(xué);2015年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 白萬(wàn)青;基于移動(dòng)LIGA光刻技術(shù)的微針研究[D];上海交通大學(xué);2011年

2 趙冬偉;基于LIGA技術(shù)的光熱微驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)研究[D];浙江大學(xué);2012年

3 陳貴;微針條件下雷公藤甲素脂質(zhì)體水凝膠貼劑的CIA模型透皮研究[D];西北大學(xué);2012年

4 楊鋒雷;適用于無(wú)針注射及高精度微注射的物理建模與實(shí)驗(yàn)研究[D];杭州電子科技大學(xué);2012年

5 李成斌;電鑄銅、鎳金屬微器件的工藝研究[D];大連理工大學(xué);2013年

6 程亮;SIN-HC1“微針陣列—傳遞醇質(zhì)體”組合大通量經(jīng)皮釋藥規(guī)律研究[D];西北大學(xué);2013年

7 薛領(lǐng);美容用微注塑成型聚合物微針的研究[D];北京化工大學(xué);2013年

8 劉冰;高深寬比硅微結(jié)構(gòu)MEMS電容器制造工藝優(yōu)化及其性能研究[D];中北大學(xué);2014年

9 李連凱;基于摩擦誘導(dǎo)選擇性刻蝕原理的單晶硅表面大面積疏水織構(gòu)加工[D];西南交通大學(xué);2014年

10 廖哲勛;異平面微陣列結(jié)構(gòu)的制備和特性研究[D];上海交通大學(xué);2013年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 孫瀟;賈書海;朱軍;李以貴;;新型MEMS微針設(shè)計(jì)及其力學(xué)性能[J];半導(dǎo)體學(xué)報(bào);2007年01期

2 梁靜秋,姚勁松;LIGA技術(shù)基礎(chǔ)研究[J];光學(xué)精密工程;2000年01期

3 董曉浩;鳳良杰;康樂(lè);徐朝銀;;同步輻射X射線雙晶單色器聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)[J];光學(xué)精密工程;2007年02期

4 明平美;朱荻;胡洋洋;曾永彬;;UV-LIGA技術(shù)制備微型柔性鎳接觸探針[J];光學(xué)精密工程;2007年05期

5 李以貴,陳迪,朱軍,楊春生,金森義明;基于一種新微細(xì)加工技術(shù)的亞波長(zhǎng)光柵的研制[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2002年08期

6 劉秋平;何興道;張靄云;余曉光;;線性化求解非線性記錄光柵耦合波方程[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2007年06期

7 張國(guó)平,葉嘉雄,李再光;位相光柵偏振特性的耦合波分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);1996年12期

8 葉燕;浦東林;周云;陳林森;;用于光導(dǎo)板的亞微米光柵透射衍射特性分析[J];激光雜志;2007年05期

9 李以貴;杉山進(jìn);;基于X光光刻的亞波長(zhǎng)光柵[J];納米技術(shù)與精密工程;2007年04期

10 李以貴;杉山進(jìn);;用X光光刻法制備亞波長(zhǎng)抗反射結(jié)構(gòu)[J];微細(xì)加工技術(shù);2008年01期

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 樓祺洪;;準(zhǔn)分子激光醫(yī)學(xué)[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;1987年04期

2 巴瑞璋;準(zhǔn)分子激光加工的應(yīng)用[J];航空工藝技術(shù);1998年04期

3 喬增偉,沈建新,廖文和;準(zhǔn)分子激光人眼角膜矯正系統(tǒng)的研究[J];淮陰工學(xué)院學(xué)報(bào);2003年01期

4 郭召平;張祖進(jìn);;準(zhǔn)分子激光的原理、結(jié)構(gòu)及發(fā)展動(dòng)態(tài)[J];醫(yī)療衛(wèi)生裝備;2006年10期

5 劉雷;馬宏;;準(zhǔn)分子激光均束系統(tǒng)的研究[J];長(zhǎng)春理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2009年02期

6 馬樹森,善新新,姚永邦,秦玉英,蔡連新,王廣昌;準(zhǔn)分子激光引發(fā)石墨和氫的反應(yīng)[J];中國(guó)激光;1986年11期

7 樓祺洪,霍蕓生,丁澤安,丁愛(ài)臻,董景星,魏運(yùn)榮;用石墨作陰極的大面積電子槍及其在高平均功率準(zhǔn)分子激光中的應(yīng)用[J];科學(xué)通報(bào);1988年07期

8 友清;;準(zhǔn)分子激光治療眼睛安全嗎[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;1993年10期

9 王乃彥;單玉生;曾乃工;周創(chuàng)志;馬維義;楊大為;王孝君;王淦昌;;電子束泵浦的百焦耳級(jí)的氟化氪準(zhǔn)分子激光的研制[J];中國(guó)原子能科學(xué)研究院年報(bào);1990年00期

10 單玉生;曾乃工;馬維義;朱志森;王乃彥;;百焦耳準(zhǔn)分子激光電子束泵浦源工作穩(wěn)定性的改善[J];中國(guó)原子能科學(xué)研究院年報(bào);1990年00期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 常秋花;賈麗;米生建;喬紅玉;劉婷;;術(shù)前準(zhǔn)確檢查對(duì)準(zhǔn)分子激光治療近視效果的分析及體會(huì)[A];全國(guó)護(hù)理臨床研究學(xué)術(shù)交流暨專題講座會(huì)議論文會(huì)編[C];2001年

2 徐峻;許剛;查敦傳;張解忠;王寧;;選擇準(zhǔn)分子激光治療近視的人群分析[A];中華醫(yī)學(xué)會(huì)第十二屆全國(guó)眼科學(xué)術(shù)大會(huì)論文匯編[C];2007年

3 肖俊華;魏琦;王風(fēng)云;龍洪濤;;準(zhǔn)分子激光個(gè)性化技術(shù)實(shí)戰(zhàn)報(bào)告附案例實(shí)圖演示[A];中華醫(yī)學(xué)會(huì)第十二屆全國(guó)眼科學(xué)術(shù)大會(huì)論文匯編[C];2007年

4 盧光榮;楊衛(wèi)國(guó);袁琳;;準(zhǔn)分子激光原位角膜磨鑲術(shù)治療近視、散光分析[A];2007年貴州省醫(yī)學(xué)會(huì)眼科學(xué)分會(huì)第五屆第三次學(xué)術(shù)年會(huì)論文匯編[C];2007年

5 劉蘇冰;買志彬;聶曉麗;汪洋;唐秀俠;辛寶莉;;準(zhǔn)分子激光在眼科的應(yīng)用[A];第十七屆十三省（市）光學(xué)學(xué)術(shù)年會(huì)暨“五省一市光學(xué)聯(lián)合年會(huì)”論文集[C];2008年

6 肖俊華;;準(zhǔn)分子激光個(gè)性化技術(shù)案例實(shí)踐報(bào)告[A];江西省第九次中西醫(yī)結(jié)合眼科、中醫(yī)眼科學(xué)術(shù)交流會(huì)論文匯編[C];2008年

7 林巧雅;汪美華;;準(zhǔn)分子激光原位磨鑲術(shù)術(shù)后角膜上皮點(diǎn)狀缺損的病因探討[A];中華醫(yī)學(xué)會(huì)第十二屆全國(guó)眼科學(xué)術(shù)大會(huì)論文匯編[C];2007年

8 胡明;牟國(guó)營(yíng);;準(zhǔn)分子激光原位角膜磨鑲術(shù)醫(yī)源性散光的概念及其治療探討[A];中華醫(yī)學(xué)會(huì)第十二屆全國(guó)眼科學(xué)術(shù)大會(huì)論文匯編[C];2007年

9 沈建新;曹正林;;準(zhǔn)分子激光視覺(jué)光學(xué)矯正研究及應(yīng)用[A];中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2006年學(xué)術(shù)大會(huì)論文摘要集[C];2006年

10 姚佩君;周行濤;褚仁遠(yuǎn);;準(zhǔn)分子激光老視補(bǔ)償切削臨床分析[A];中華醫(yī)學(xué)會(huì)第十二屆全國(guó)眼科學(xué)術(shù)大會(huì)論文匯編[C];2007年

中國(guó)重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 本報(bào)記者 王彩麗;準(zhǔn)分子激光治近視就像坐飛機(jī)[N];衛(wèi)生與生活報(bào);2007年

2 ;準(zhǔn)分子激光治療近視新突破[N];中國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)導(dǎo)報(bào);2001年

3 保健時(shí)報(bào)記者 邱爽;激光治眼利與弊[N];保健時(shí)報(bào);2007年

4 程少為;準(zhǔn)分子激光成為皮膚病新療法[N];健康報(bào);2006年

5 市二院眼科 鄒廣程;淺談準(zhǔn)分子激光治療近視[N];無(wú)錫日?qǐng)?bào);2006年

6 見(jiàn)習(xí)記者 蘇梓琴;準(zhǔn)分子激光治近視有風(fēng)險(xiǎn)[N];大眾衛(wèi)生報(bào);2009年

7 黃晶;準(zhǔn)分子激光不會(huì)“燒壞”眼睛[N];大眾衛(wèi)生報(bào);2003年

8 劉奇民 梁言;準(zhǔn)分子激光技術(shù)：幾分歡喜幾分憂[N];人民政協(xié)報(bào);2004年

9 王繼榮　黃余紅;準(zhǔn)分子激光技術(shù)應(yīng)用眼科惠及近視患者[N];中國(guó)消費(fèi)者報(bào);2007年

10 本報(bào)記者 李翠;選擇準(zhǔn)分子激光矯視應(yīng)慎重[N];廣東科技報(bào);2004年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前5條

1 劉瑩;準(zhǔn)分子激光加工表面微觀形貌表征及其特征研究[D];武漢理工大學(xué);2002年

2 沈建新;基于準(zhǔn)分子激光消融的屈光與波前像差矯正技術(shù)研究與實(shí)現(xiàn)[D];南京航空航天大學(xué);2003年

3 常艷賀;ArF準(zhǔn)分子激光高反射薄膜技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2014年

4 靳京城;P偏振ArF準(zhǔn)分子激光大角度減反射薄膜的研究與制備[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院(長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2014年

5 張運(yùn)海;準(zhǔn)分子激光視覺(jué)光學(xué)矯正關(guān)鍵建模技術(shù)研究[D];南京航空航天大學(xué);2006年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 高健;用于皮膚治療儀的308nm準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)的研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2013年

2 靳羽華;微透鏡準(zhǔn)分子激光整形均束裝置[D];北京工業(yè)大學(xué);2013年

3 王桐;準(zhǔn)分子激光光闌法加工微透鏡的工藝研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2007年

4 周景;308nm準(zhǔn)分子激光對(duì)豚鼠皮膚黑素細(xì)胞的影響[D];山東大學(xué);2007年

5 唐雯;一種基于PSD傳感器的眼球跟蹤系統(tǒng)[D];蘇州大學(xué);2010年

6 時(shí)濤;準(zhǔn)分子激光微刻蝕加工的實(shí)驗(yàn)研究[D];華中科技大學(xué);2004年

7 金奇芳;準(zhǔn)分子激光治療角膜欠厚高度近視眼的手術(shù)方法對(duì)比研究[D];南昌大學(xué);2006年

8 黃小晏;308nm準(zhǔn)分子激光對(duì)角質(zhì)形成細(xì)胞影響的研究[D];南方醫(yī)科大學(xué);2008年

9 李樂(lè);248nm準(zhǔn)分子激光與三種無(wú)機(jī)非金屬光學(xué)材料相互作用研究[D];武漢理工大學(xué);2014年

10 王雪;準(zhǔn)分子激光在一些金屬表面的改性研究[D];南京航空航天大學(xué);2013年

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本文編號(hào)：1053435