本文關(guān)鍵詞：基于準(zhǔn)分子激光的X光掩膜板與壓電陶瓷加工

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【摘要】：隨著元器件的微型化、精密化發(fā)展,對快速微細加工提出了巨大需求�；跍�(zhǔn)分子激光微細加工技術(shù),以串行加工方式加工了X光掩膜板圖形結(jié)構(gòu)和壓電陶瓷(PZT)微結(jié)構(gòu)。研究了波長為248 nm KrF準(zhǔn)分子激光微細加工技術(shù)的最優(yōu)加工條件,獲得了高質(zhì)量的X光光刻用的掩膜板和PZT微結(jié)構(gòu)�；赬光掩膜板,采用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)為光刻膠進行X光光刻,獲得了高深寬比的六角形蜂窩微結(jié)構(gòu)。通過輸入不同的加工參數(shù)來激光加工PZT基板,獲得了加工參數(shù)與PZT基板加工深度的關(guān)系。通過對加工好的PZT微結(jié)構(gòu)和六角形蜂窩微結(jié)構(gòu)的測試,結(jié)果表明利用準(zhǔn)分子激光器可實現(xiàn)快速微細加工的目的。
【作者單位】： 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院理學(xué)院;日本立命館大學(xué)微系統(tǒng)系;
【關(guān)鍵詞】： 微細加工 準(zhǔn)分子激光 X光光刻 X光掩膜板 壓電陶瓷(PZT)
【基金】：國家自然科學(xué)基金重點項目(51035005) 上海市聯(lián)盟計劃資助項目(LM201441) 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院光電精密檢測平臺建設(shè)項目(10210Q140005);上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院引進人才啟動基金資助項目(YJ2014-03)
【分類號】：TM282
【正文快照】： 0引言為滿足科學(xué)技術(shù)日益發(fā)展的需要,元器件正在朝微型化和精密化方向發(fā)展。不同于傳統(tǒng)加工,先進制造技術(shù)如微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù),激光微細加工技術(shù)正是在這樣的背景下蓬勃發(fā)展的。激光微細加工是透過空氣、惰性氣體和透明體對工件實現(xiàn)加工,是一種無接觸加工的先進制造技

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本文編號：1053435