InGaN合金作為一種可用于開發(fā)全光譜的光電器件的材料,其在InGaN/GaN基LED的工業(yè)生產(chǎn)和作為照明源的使用在世界范圍內(nèi)越來越受到重視。除低銦組份的藍(lán)光LED外,高銦組份的綠光、黃光及紅光LED一樣值得研究。本文的研究目的是促進(jìn)在沒有緩沖層的情況下直接在藍(lán)寶石基底上生長高銦組份InGaN材料的研究和開發(fā),并深化對高銦組份InGaN外延材料的了解。本文所研究材料是采用MEPA-MOCVD技術(shù),在不使用任何緩沖層的情況下,直接將銦組份在50%至80%之間的高銦組份InGaN納米外延薄膜制備出來。隨后利用幾種材料表征技術(shù)對其結(jié)構(gòu)、表面、光學(xué)和振動特性進(jìn)行了深入研究。采用了高分辨率X射線衍射（HR-XRD）測量分析來確定InxGa1-xN中的組份,但薄膜表面組分和元素化學(xué)態(tài)是使用X射線光電子能譜（XPS）來分析確定的,拉曼散射光譜（RSS）和變角度光譜橢圓偏振（VASE）對薄膜的光學(xué)特性和結(jié)構(gòu)進(jìn)行了評估。論文的主要研究內(nèi)容從以下幾個(gè)方面進(jìn)行:（1）對高銦組份銦鎵氮樣品進(jìn)行X射線衍射測試,并使用軟件進(jìn)行擬合分析。擬合可以得到整個(gè)薄膜的組份。（2）對銦鎵氮樣品進(jìn)行X光電子能譜（XPS）測試及... 

【文章頁數(shù)】：54 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第一章 緒論
    1.1 引言
    1.2 銦鎵氮薄膜太陽能電池材料的基本性質(zhì)及應(yīng)用前景
    1.3 X光電子能譜基本原理
    1.4 X光電子能譜的定性分析及半定量分析
        1.4.1 XPS定性分析原理
        1.4.2 XPS定量分析原理
    1.5 高分辨X射線衍射光譜基本原理
        1.5.1 X射線衍射光譜
        1.5.2 高分辨X射線衍射
    1.6 橢圓偏振光譜基本原理
    1.7 拉曼光譜基本原理
    1.8 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉淀及本文樣品信息
    1.9 論文的研究內(nèi)容及章節(jié)安排
第二章 銦鎵氮薄膜的X射線衍射光譜研究
    2.1 引言
    2.2 實(shí)驗(yàn)儀器介紹
    2.3 銦鎵氮薄膜的X射線衍射光譜測量及擬合計(jì)算
    2.4 本章小結(jié)
第三章 銦鎵氮薄膜的X光電子能譜擬合分析
    3.1 引言
    3.2 實(shí)驗(yàn)儀器介紹
    3.3 銦鎵氮薄膜的X光電子能譜擬合分析
    3.4 XPS價(jià)帶譜及能帶偏移的計(jì)算
    3.5 本章小結(jié)
第四章 銦鎵氮薄膜的橢圓偏振光譜研究
    4.1 引言
    4.2 實(shí)驗(yàn)儀器介紹
    4.3 銦鎵氮薄膜的常溫橢圓偏振光譜測量與分析
    4.4 銦鎵氮薄膜的變溫橢圓偏振光譜測量與分析
    4.5 本章小結(jié)
第五章 拉曼散射的銦鎵氮薄膜晶體特性研究
    5.1 引言
    5.2 實(shí)驗(yàn)儀器介紹
    5.3 銦鎵氮薄膜的拉曼散射實(shí)驗(yàn)與分析
    5.4 本章小結(jié)
第六章 論文總結(jié)和展望
    6.1 全文總結(jié)
    6.2 研究展望
參考文獻(xiàn)
致謝
攻讀碩士期間己發(fā)表的論文及研究成果


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]MOCVD生長Si襯底上HT-AlN緩沖層低生長壓力對GaN薄膜的影響[J]. 韓軍,趙佳豪,邢艷輝,史峰峰,楊濤濤,趙杰,王凱,李燾,鄧旭光,張寶順.  發(fā)光學(xué)報(bào). 2018(09)
[2]薄膜太陽能電池的研究與應(yīng)用進(jìn)展[J]. 林源.  化工新型材料. 2018(06)
[3]Influence of compressive strain on the incorporation of indium in InGaN and InAlN ternary alloys[J]. 趙一,張進(jìn)成,薛軍帥,周小偉,許晟瑞,郝躍.  Chinese Physics B. 2015(01)
[4]X射線衍射技術(shù)在材料分析中的應(yīng)用[J]. 田志宏,張秀華,田志廣.  工程與試驗(yàn). 2009(03)
[5]X射線衍射原理及在材料分析中的應(yīng)用[J]. 李霞,滕曉云.  物理通報(bào). 2008(09)
[6]In1-xGaxN/Si異質(zhì)結(jié)太陽能電池的光伏特性研究[J]. 董少光,范廣涵.  西南科技大學(xué)學(xué)報(bào). 2007(04)
[7]X射線衍射技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用[J]. 楊新萍.  山西師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2007(01)
[8]X射線衍射分析的實(shí)驗(yàn)方法及其應(yīng)用[J]. 胡林彥,張慶軍,沈毅.  河北理工學(xué)院學(xué)報(bào). 2004(03)



本文編號：3669421