面板制造的陣列工序（Array）在設(shè)計過程中,柵極（Gate）層電路和源漏（SD）極層電路根據(jù)產(chǎn)品使用要求進行電極材料的選擇,這個過程不僅會對電極材料性能如電阻率、電子遷移率等因素進行考量,而且還需在原料成本及制造工藝技術(shù)難易程度上進行評價。隨著平板顯示大尺寸化、高解析度以及驅(qū)動頻率高速化的趨勢和要求,金屬銅導(dǎo)線將逐漸取代鋁導(dǎo)線成為薄膜晶體管制備過程中電極材料,由于金屬銅與下層基板玻璃粘結(jié)性差,工藝上一般選擇金屬鉬作為過渡膜層。當前,銅導(dǎo)線主要采用雙氧水系刻蝕液進行處理,而雙氧水的不穩(wěn)定及易爆性使其在實際應(yīng)用過程中存在諸多問題。本文研究了磷酸系刻蝕液對銅的刻蝕性能,磷酸系刻蝕液的主要組成為磷酸、硝酸及醋酸。工作中首先研究了金屬銅在單酸、二元混合酸及三元混合酸刻蝕液中的溶出情況,解析了磷酸系刻蝕液不同組份對銅溶出的影響情況。結(jié)果發(fā)現(xiàn),金屬銅的腐蝕需氧化性及酸性共同作用下才能發(fā)生,其中硝酸起主導(dǎo)作用。XPS的分析結(jié)果表明,銅在磷酸系刻蝕液的溶出過程中,硝酸主要起氧化作用,將銅氧化為Cu₂O直至CuO,CuO在氫離子的作用下發(fā)生溶解反應(yīng),而醋酸加入有利于硝酸對銅的氧化,同...

【文章頁數(shù)】：77 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1TFT-LCD構(gòu)造簡圖[27]

磷酸系刻蝕液對Cu/Mo薄膜刻蝕性能的基礎(chǔ)研究3動頻率高速化的趨勢和要求，各面板廠商不得不面對陣列系統(tǒng)中電阻及電阻/電容時間延遲及電子遷移率低等問題。金屬銅導(dǎo)線相對于鋁有更低的電阻率以及更好的抗電遷移能力[17-19]，將逐漸取代鋁導(dǎo)線。由于金屬銅和玻璃基板及柵極絕緣層(如SiO....

圖1-2TFT-LCD顯示原理[28]

浙江工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文4薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）面板結(jié)構(gòu)如圖1-1所示。每一個部件都發(fā)揮著特定的作用，對于LCD系統(tǒng)缺一不可，各個部件作用如表1-1。表1-1TFT-LCD各部件的作用Table1-1.FunctionsofTFT-LCDcomponents部件作....

圖1-3光刻工藝流程[31]

子的扭轉(zhuǎn)，將來自背光源的光調(diào)制產(chǎn)生不同的色彩、亮度等顯示效果，從而顯示不同圖像[30]。（2）液晶顯示器制造工藝薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）的制造工藝流程可以分為四個子工藝流程進行，它們分別是：陣列工程（Array）、彩色濾光器工程（Colorfilter）、液晶灌注（....

圖1-4彩色濾光器組件結(jié)構(gòu)圖[32]

浙江工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文6②彩色濾光器工程（Colorfilter）圖1-4彩色濾光器組件結(jié)構(gòu)圖[32]Figure1-4.Structuraldiagramofcolorfiltercomponents彩膜工程（CF）加工工藝是在玻璃基板上加工出如圖1-4的結(jié)構(gòu)，其基本結(jié)構(gòu)是由....

本文編號：4022059