過渡金屬氮化物和碳化物（TiAlN/C）薄膜由于具有高硬度、高熔點、高耐磨性、良好的熱穩(wěn)定性及化學穩(wěn)定性等優(yōu)點,常作為表面防護涂層被廣泛應用于機械加工、微電子器件、交通運輸、航空航天、地質(zhì)勘探等領(lǐng)域。進一步提高TiAlN/C薄膜的性能如高硬、高韌、低摩、耐磨以應對更加苛刻的環(huán)境及延長服役壽命成為了研究者們一致追求的目標。在TiAlN/C薄膜中,Al對其性能的提高起到了非常重要的作用,但Al在TiAlN和TiAlC薄膜中發(fā)揮著不同的作用:（1）Al在TiN中能顯著提高其硬度和熱穩(wěn)定性,但存在韌性偏低且其性能強烈依賴于Al的存在形式的問題;（2）Al在TiC中能降低其內(nèi)應力并使改善其摩擦性能,但Al對制備和摩擦過程中薄膜中a-C含量和存在形式及其對摩擦行為的作用機理尚未探明。此外,探索其它元素對TiAlN/C薄膜的影響,將有助于進一步提升其性能。針對TiAlN薄膜低的斷裂韌性,引入Nb進行合金化被認為是潛在的改善韌性的途徑,亟需開展系統(tǒng)研究。在本文中,采用磁控濺射的方法通過調(diào)節(jié)工藝參數(shù)制備了TiAlN和TiAlNbN與TiAlC和TiAlNbC薄膜,首先,結(jié)合實驗與理論計算對比研究了TiA... 

【文章來源】：吉林大學吉林省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：107 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

元素周期表中常用的硬質(zhì)相過渡金屬元素

第一章緒論30.59(R/RTM>0.59)時，將形成更為復雜的晶體結(jié)構(gòu)，如圖1.3b所示的Cr23C6，在該結(jié)構(gòu)中的C原子位于三方柱和八面體間隙中。圖1.2FCC與HCP結(jié)構(gòu)堆垛示意圖。Fig.1.2SchematicdiagramofstackingFCCandHCPstructures.圖1.3B1-NaCl結(jié)構(gòu)與Cr23C6結(jié)構(gòu)示意圖[5]。Fig.1.3SchematicdiagramofNaClandCr23C6structures.

第一章緒論30.59(R/RTM>0.59)時，將形成更為復雜的晶體結(jié)構(gòu)，如圖1.3b所示的Cr23C6，在該結(jié)構(gòu)中的C原子位于三方柱和八面體間隙中。圖1.2FCC與HCP結(jié)構(gòu)堆垛示意圖。Fig.1.2SchematicdiagramofstackingFCCandHCPstructures.圖1.3B1-NaCl結(jié)構(gòu)與Cr23C6結(jié)構(gòu)示意圖[5]。Fig.1.3SchematicdiagramofNaClandCr23C6structures.

【參考文獻】：
博士論文
[1]TaC基薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、力學性能和摩擦學行為的研究[D]. 杜蘇軒.吉林大學 2018

碩士論文
[1]微量輕元素對若干典型金屬薄膜的力學性能調(diào)控[D]. 楊麗娜.吉林大學 2019



本文編號：3094242