發(fā)布時(shí)間：2017-12-17 20:24

  本文關(guān)鍵詞：化學(xué)氣相沉積法制備氮化硼界面涂層的研究進(jìn)展

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【摘要】：闡述了BN界面的優(yōu)異性能和CVD制備工藝的優(yōu)缺點(diǎn),主要介紹了CVD-BN制備過(guò)程中沉積溫度、源氣體比例、熱處理溫度等各因素的影響,指出CVD法是制備高品質(zhì)BN界面涂層的優(yōu)選方法。優(yōu)化CVD工藝,對(duì)其制備原理進(jìn)行深入研究,將是BN界面涂層研究的重點(diǎn),獲得特定結(jié)構(gòu)、性能穩(wěn)定、厚度可控的BN界面相涂層是CVD法制備BN界面相涂層的難點(diǎn)。
【作者單位】： 上海大學(xué)材料復(fù)合及先進(jìn)分散技術(shù)教育部工程中心;上海航天設(shè)備制造總廠;
【基金】：航空科學(xué)基金SiCf/SiC復(fù)合陶瓷浮動(dòng)壁應(yīng)用的基礎(chǔ)研究(2013 ZFS6001)
【分類(lèi)號(hào)】：TB306
【正文快照】： 0引言陶瓷基復(fù)合材料(CMC)具有質(zhì)輕、耐高溫、耐磨損等特點(diǎn),能夠滿(mǎn)足航空發(fā)動(dòng)機(jī)長(zhǎng)時(shí)間使用、抗氧化和耐磨的要求,是高推動(dòng)比發(fā)動(dòng)機(jī)的首選材料[1]。但是,陶瓷材料具有較大的脆性,使其應(yīng)用受到限制,為此,自增韌、顆粒增強(qiáng)、晶須增強(qiáng)、纖維增強(qiáng)和混雜增強(qiáng)等成為眾多研究者獲得高

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1 國(guó)華;;在化學(xué)氣相沉積石榴石膜時(shí)生成物相的控制[J];磁性材料及器件;1973年01期

2 王忠恕;化學(xué)氣相沉積在機(jī)械工業(yè)中的應(yīng)用[J];熱加工工藝;1983年02期

3 沈啟賢;歐洲第五屆化學(xué)氣相沉積會(huì)議在瑞典召開(kāi)[J];兵器材料科學(xué)與工程;1985年12期

4 張長(zhǎng)鑫;化學(xué)氣相沉積制取鎢[J];稀有金屬;1987年03期

5 張長(zhǎng)鑫;;化學(xué)氣相沉積制取鎢制品[J];新技術(shù)新工藝;1987年05期

6 馬捷;張好東;畢安園;王從曾;周美玲;;化學(xué)氣相沉積法制取異型鎢制品研究[J];兵工學(xué)報(bào);2006年02期

7 盧翠英;成來(lái)飛;張立同;徐永東;趙春年;;化學(xué)氣相沉積碳化硅的熱力學(xué)分析[J];無(wú)機(jī)材料學(xué)報(bào);2008年06期

8 韓同寶;;化學(xué)氣相沉積設(shè)備與裝置[J];化學(xué)工程與裝備;2011年03期

9 ;淺談化學(xué)氣相沉積新工藝[J];機(jī)械工人技術(shù)資料;1975年07期

10 H.E.Hintermann;曾憲國(guó);;耐磨和耐腐蝕的化學(xué)氣相沉積層的應(yīng)用[J];國(guó)外化學(xué)熱處理;1982年06期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 龐世紅;馬眷榮;馬振珠;;在線化學(xué)氣相沉積過(guò)程的動(dòng)力學(xué)研究[A];2007中國(guó)浮法玻璃及玻璃新技術(shù)發(fā)展研討會(huì)論文集[C];2007年

2 王君;陳長(zhǎng)琦;朱武;劉珍;陳明;;氮化硅化學(xué)氣相沉積過(guò)程的量子化學(xué)研究[A];中國(guó)真空學(xué)會(huì)第六屆全國(guó)會(huì)員代表大會(huì)暨學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2004年

3 張薔;張曉林;張帆;奚中和;;化學(xué)氣相沉積法的沉積速率對(duì)硅烷濃度的依賴(lài)[A];中國(guó)電子學(xué)會(huì)真空電子學(xué)分會(huì)第十一屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];1997年

4 浦鴻汀;孫霞容;;化學(xué)氣相沉積聚合制備聚乙�；鶎�(duì)苯撐二甲基及其性能的研究[A];第五屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集Ⅲ[C];2004年

5 楊艷;;化學(xué)氣相沉積碳化硅[A];第三屆全國(guó)化學(xué)工程與生物化工年會(huì)論文摘要集（下）[C];2006年

6 張溪文;韓高榮;;介質(zhì)阻擋放電化學(xué)氣相沉積法制備二氧化鈦薄膜研究[A];TFC'05全國(guó)薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會(huì)論文摘要集[C];2005年

7 練友運(yùn);劉翔;許增裕;宋久鵬;于洋;莊志剛;;銅基表面化學(xué)氣相沉積制備鎢涂層的組織與性能[A];中國(guó)核科學(xué)技術(shù)進(jìn)展報(bào)告（第二卷）——中國(guó)核學(xué)會(huì)2011年學(xué)術(shù)年會(huì)論文集第7冊(cè)（核電子學(xué)與核探測(cè)技術(shù)分卷、脈沖功率技術(shù)及其應(yīng)用分卷、核聚變與等離子體物理分卷）[C];2011年

8 劉曉亭;陳茜;羅靜;王文宇;陳皓;;多孔石英陶瓷上化學(xué)氣相沉積氮化硅薄膜[A];2011年全國(guó)青年摩擦學(xué)與表面工程學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2011年

9 徐幸梓;張力;曾丁丁;陳玉安;韓志范;;氫在化學(xué)氣相沉積制備碳材料過(guò)程中的作用[A];2007高技術(shù)新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展研討會(huì)暨《材料導(dǎo)報(bào)》編委會(huì)年會(huì)論文集[C];2007年

10 周健;羅迎社;李立君;鐘琦文;殷水平;;激光誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積制造微碳柱的研究[A];中國(guó)化學(xué)會(huì)、中國(guó)力學(xué)學(xué)會(huì)第九屆全國(guó)流變學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2008年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前6條

1 楊詩(shī)瑞;化學(xué)氣相沉積制備高純度Re、Ir的相關(guān)機(jī)理研究[D];北京理工大學(xué);2015年

2 劉鑫;自組裝單分子層上化學(xué)氣相沉積銅薄膜研究[D];浙江大學(xué);2007年

3 馬磊;化學(xué)氣相沉積原位合成過(guò)渡金屬和碳納米管復(fù)合改性二氧化鈦光催化材料[D];華東理工大學(xué);2012年

4 朱小奕;化學(xué)氣相沉積法合成鋰離子電池硅碳復(fù)合負(fù)極材料的研究[D];青島大學(xué);2013年

5 何春年;化學(xué)氣相沉積法原位合成碳納米管增強(qiáng)鋁基復(fù)合材料[D];天津大學(xué);2008年

6 孟明;In_O_3晶面的可控生長(zhǎng)及晶面依賴(lài)的光電催化性能研究[D];南京大學(xué);2015年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 唐冬梅;陣列碳納米管的制備及其應(yīng)用研究[D];西南科技大學(xué);2015年

2 余風(fēng)利;碳納米管化學(xué)氣相沉積爐的優(yōu)化設(shè)計(jì)與仿真[D];南昌大學(xué);2015年

3 張峰;化學(xué)氣相沉積法制備金屬鐵磁性納米線及其性能研究[D];浙江工業(yè)大學(xué);2015年

4 陳賓賓;化學(xué)氣相沉積制備負(fù)載型氧化鐵、氧化銅催化劑及其苯酚羥基化性能[D];揚(yáng)州大學(xué);2015年

5 周樂(lè)君;化學(xué)氣相沉積法制備超細(xì)錸粉的研究[D];中南大學(xué);2010年

6 趙萬(wàn)順;高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的溫度場(chǎng)和流場(chǎng)的研究與改進(jìn)[D];華北電力大學(xué);2012年

7 王薇;錸的化學(xué)氣相沉積前驅(qū)體的合成探究[D];昆明理工大學(xué);2013年

8 季龍慶;化學(xué)氣相沉積制備碳化硅過(guò)程的數(shù)值模擬[D];大連理工大學(xué);2013年

9 劉鵬;常壓化學(xué)氣相沉積法二氧化鈦薄膜的制備與摻雜性能研究[D];浙江大學(xué);2004年

10 郝振華;化學(xué)氣相沉積法制備ZrO_2涂層的顯微結(jié)構(gòu)與性能研究[D];中南大學(xué);2012年

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本文編號(hào)：1301454