本文關鍵詞：基于MEMS技術的載體催化甲烷檢測元件制作方法

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【摘要】：在分析載體催化甲烷檢測原理的基礎上,提出采用先進的微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical System,MEMS)技術對傳統(tǒng)載體催化甲烷檢測元件的制作方法進行改進,給出了具體的元件制作流程,并對元件的性能進行了測試。測試結果表明,基于MEMS技術的載體催化甲烷檢測元件較傳統(tǒng)載體催化甲烷檢測元件在功耗、抗中毒、一致性等方面有明顯改善。
【作者單位】： 中煤科工集團重慶研究院有限公司;
【關鍵詞】： 甲烷檢測 載體催化檢測 微機電系統(tǒng) MEMS
【基金】：重慶市煤監(jiān)局煤炭發(fā)展專項資金資助項目(渝煤〔2014〕-kj-09) 中國煤炭科工集團有限公司科技創(chuàng)新基金面上項目(2014MS025)
【分類號】：TD712.55
【正文快照】： 0引言中國煤礦安全形勢一直較為嚴峻,尤其是瓦斯災害,破壞力極大,僅2014年就有超過200人在瓦斯爆炸事故中喪生,瓦斯災害監(jiān)測裝備的技術性能仍有待提高。甲烷氣體濃度是瓦斯災害監(jiān)測的主要參數(shù)。目前中國煤礦井下普遍使用基于載體催化原理的甲烷檢測裝備,其技術成熟、成本低廉

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本文編號：664232