本文關(guān)鍵詞：基于MEMS技術(shù)的載體催化甲烷檢測元件制作方法

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【摘要】：在分析載體催化甲烷檢測原理的基礎(chǔ)上,提出采用先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical System,MEMS)技術(shù)對傳統(tǒng)載體催化甲烷檢測元件的制作方法進(jìn)行改進(jìn),給出了具體的元件制作流程,并對元件的性能進(jìn)行了測試。測試結(jié)果表明,基于MEMS技術(shù)的載體催化甲烷檢測元件較傳統(tǒng)載體催化甲烷檢測元件在功耗、抗中毒、一致性等方面有明顯改善。
【作者單位】： 中煤科工集團(tuán)重慶研究院有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 甲烷檢測 載體催化檢測 微機(jī)電系統(tǒng) MEMS
【基金】：重慶市煤監(jiān)局煤炭發(fā)展專項資金資助項目(渝煤〔2014〕-kj-09) 中國煤炭科工集團(tuán)有限公司科技創(chuàng)新基金面上項目(2014MS025)
【分類號】：TD712.55
【正文快照】： 0引言中國煤礦安全形勢一直較為嚴(yán)峻,尤其是瓦斯災(zāi)害,破壞力極大,僅2014年就有超過200人在瓦斯爆炸事故中喪生,瓦斯災(zāi)害監(jiān)測裝備的技術(shù)性能仍有待提高。甲烷氣體濃度是瓦斯災(zāi)害監(jiān)測的主要參數(shù)。目前中國煤礦井下普遍使用基于載體催化原理的甲烷檢測裝備,其技術(shù)成熟、成本低廉

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉碩節(jié);;甲烷檢測元件[J];煤炭科學(xué)技術(shù);1986年01期

2 葉權(quán)昌;;改進(jìn)檢測元件的節(jié)能效益分析[J];中氮肥;1989年01期

3 李江波;坎雜;張若宇;李景彬;;脫絨棉種色選機(jī)常用檢測元件對比分析[J];新疆農(nóng)機(jī)化;2007年01期

4 ;科技消息[J];機(jī)械工程師;1986年01期

5 蘇潭;CG系列抗積碳瓦斯檢測元件研制成功[J];江蘇煤炭;1987年01期

6 蔣洪斌;;友嘉精機(jī)FANUC-18M檢測元件工作故障分析[J];電子世界;2011年15期

7 安國風(fēng);;應(yīng)用數(shù)顯技術(shù)更新改造設(shè)備[J];煤礦機(jī)械;1989年08期

8 蔣芳;;臥式車床數(shù)控化改造中檢測元件的選擇[J];包頭職業(yè)技術(shù)學(xué)院學(xué)報;2003年01期

9 閆文秀;樊迪超;;檢測元件在無縫鋼管生產(chǎn)中的應(yīng)用[J];山西冶金;2010年06期

10 方原柏;均速管流量檢測元件的節(jié)能效益[J];有色冶金節(jié)能;2001年01期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 任宏凌;;采用先進(jìn)傳感器及檢測元件提高設(shè)備自動控制水平[A];2006年全國軋鋼生產(chǎn)技術(shù)會議文集[C];2006年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 成都 華崇良 編譯;自制露點(diǎn)檢測器[N];電子報;2011年

2 山西 王功勝;檢測元件造成的數(shù)控機(jī)床故障[N];電子報;2008年

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本文編號：664232