本文關鍵詞：扭轉式NEMS執(zhí)行器的pull-in特性分析，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

單位代碼：10293密級：；碩士學位論文；論文題目：；1010020730學號；姓名；方玉明導師；學科專業(yè)；研究方向；申請位類別學；論文交日期提；Thepull-inanalysisoftors；ThesisSubmittedtoNanjing；Telecommunicationsforthe；MasterofEngineering；By；TangYao；S

單位代碼： 10293 密 級：

碩 士 學 位 論 文

論文題目：

1010020730 學號

姓名

方玉明 導 師

學 科 專 業(yè)

研 究 方 向

申 請 位 類 別 學

論 文 交 日 期 提

The pull-in analysis of torsional NEMS acutators

Thesis Submitted to Nanjing University of Posts and

Telecommunications for the Degree of

Master of Engineering

By

Tang Yao

Supervisor: Prof.Fang Yuming

February 2013

南京郵電大學學位論文原創(chuàng)性聲明

本人聲明所呈交的學位論文是我個人在導師指導下進行的研究工作及取得

的研究成果。盡我所知，除了文中特別加以標注和致謝的地方外，論文中不包

含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得南京郵電大學或其它

教育機構的學位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對本研究所做的

任何貢獻均已在論文中作了明確的說明并表示了謝意。

本人學位論文及涉及相關資料若有不實，愿意承擔一切相關的法律責任。

研究生簽名：_____________ 日期：____________

南京郵電大學學位論文使用授權聲明

本人授權南京郵電大學可以保留并向國家有關部門或機構送交論文的復印件和電子文檔；允許論文被查閱和借閱；可以將學位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關數(shù)據(jù)庫進行檢索；可以采用影印、縮印或掃描等復制手段保存、匯編本學位論文。本文電子文檔的內(nèi)容和紙質論文的內(nèi)容相一致。論文的公布（包括刊登）授權南京郵電大學研究生院辦理。

涉密學位論文在解密后適用本授權書。

研究生簽名：____________ 導師簽名：____________ 日期：_____________

摘要

納機電系統(tǒng)是一項被認為面向21世紀可以得到廣泛應用的高新技術產(chǎn)業(yè)，在國防軍工、航空航天、醫(yī)療工程等領域具有潛在應用，倍受各國政府和專家的高度重視。納執(zhí)行器是NEMS (Nano Electro Mechanical System) 的核心部分，它既可以為納機電系統(tǒng)提供動力，也可以成為納機電系統(tǒng)的操作和執(zhí)行單元。其中靜電驅動的納執(zhí)行器是應用最廣泛的執(zhí)行器之一。在扭轉式靜電納執(zhí)行器中，有一種pull-in現(xiàn)象的存在，這種現(xiàn)象是研究靜電執(zhí)行器必須考慮的。

在本文中，概述了微納機電系統(tǒng)的發(fā)展方向及應用，介紹了國內(nèi)外微納執(zhí)行器的研究現(xiàn)狀�；谂まD式靜電納執(zhí)行器的集總參數(shù)模型，簡單介紹了執(zhí)行器的pull-in現(xiàn)象和機理。 接著介紹了忽略Casimir效應下的扭轉式靜電納執(zhí)行器的靜態(tài)pull-in參數(shù)的求解，主要通過力法和能量法研究pull-in現(xiàn)象。然后，在此研究的基礎之上，分析了考慮Casimir效應的扭轉式靜電納執(zhí)行器的靜態(tài)pull-in現(xiàn)象，得出了pull-in失穩(wěn)現(xiàn)象相關的結果。最后重點研究了考慮Casimir效應的靜電納執(zhí)行器的動態(tài)pull-in現(xiàn)象，對扭轉式靜電納執(zhí)行器在階躍響應、調制響應下進行理論分析，并運用Matlab數(shù)學軟件對扭轉式靜電納執(zhí)行器進行分析，得出扭轉式靜電納執(zhí)行器的動態(tài)pull-in特性。

關鍵詞: 納機電系統(tǒng)，Casimir效應，，扭轉式靜電納執(zhí)行器，靜態(tài)pull-in現(xiàn)象，動態(tài)pull-in現(xiàn)象

Abstract

Nano Electro Mechanical System (NEMS) is a kind of widely used technology in 21st century. It has been used in military defense, aerospace engineering and biomedical engineering. So professors from different countries consider its high value. Actuator is the core of NEMS and it could not only provide power to the NEMS, but also be the operation unit. Electrostatic NEMS actuator is a common NEMS actuator. In the process of studying electrostatic nano-actuators, there is a pull-in phenomenon. It is also known as pull-in instability phenomenon and is an important feature of the electrostatic nano-actuators.

In this paper, we introduce the development and application of micro-nano-electromechanical systems at home and abroad. Based on lumped model of torsion actuators, it simply introduces the pull-in phenomenon of micro actuators and its mechanism. Then it analyses the pull-in parameters of the torsion NEMS electrostatic actuators without Casimir effect. We will study the pull-in phenomenon through the force method and energy method. Then on the basis of this study, it analyses the pull-in phenomenon of torsion NEMS electrostatic actuators with Casimir effect. Then we get the pull-in instability related data. Finally, dynamic stability of torsion NEMS electrostatic actuators with Casimir effect is researched. It theoretically analyses the pull-in characteristic of torsion actuators under the step-in voltage response and modulated voltage response. Then we use the software of Matlab, it is the mathematic software to simulate the pull-in parameters and pull-in position of torsion actuators under the step-in voltage response and modulated voltage response. Afterwards, we compare the simulation results with the theoretical analysis and make the conclusion.

Key words: NEMS，Casimir effect， torsion electrostatic nano-actuators，static pull-in phenomenon，dynamic pull-in phenomenon

最新搜索

扭轉式NEMS執(zhí)行器的pull-in特性分析

REACH nutshell_guidance_articl

橋梁枕木項目可行性研究報告_圖文

The dissertation of Qing Zhu i

盜墓筆記段子

李佩卿作品展現(xiàn)源源不絕的生命力

南方電網(wǎng)“大政方針”(精簡)

F,A structural analysis on Gra

2016年核電站設備材料行業(yè)分析報告趨勢分析

法律援助申請委托書——(其他文書- 事業(yè)單位文書)

  本文關鍵詞：扭轉式NEMS執(zhí)行器的pull-in特性分析，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。