為彌補(bǔ)現(xiàn)有測(cè)試微懸臂梁剛度方法中存在的不足,采用準(zhǔn)LIGA工藝加工了一種S型折疊式微懸臂梁,對(duì)其x向和y向的剛度進(jìn)行了仿真;采用自行設(shè)計(jì)并制作的剛度測(cè)試系統(tǒng)對(duì)該微懸臂梁進(jìn)行了測(cè)試,測(cè)試結(jié)果與仿真結(jié)果的相對(duì)誤差低于2%。研究結(jié)果表明:利用所設(shè)計(jì)的測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試微懸臂梁剛度具有較高的準(zhǔn)確性,為微懸臂梁進(jìn)一步的優(yōu)化設(shè)計(jì)和工藝改進(jìn)提供了一種有效的分析手段。

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圖1微懸臂梁電子顯微鏡照片

圖2y向位移云圖

圖3微懸臂梁x向位移云圖

圖4微懸臂梁剛度測(cè)試系統(tǒng)

本文編號(hào)：3889826