微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical-System,MEMS）是一類基于超精密機(jī)械加工及多個(gè)不同領(lǐng)域知識(shí)（如微電子,新材料新能源,控制理論,通信理論等）設(shè)計(jì),用于完成特定功能任務(wù)的微型機(jī)械電子器件。與普通的閉環(huán)機(jī)電系統(tǒng)類似,其體系主要包括構(gòu)成包括傳感器、中央處理器、執(zhí)行器以及核心對(duì)象等等。微機(jī)電系統(tǒng)因具有成本低,易于大規(guī)模制造、集成度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),在很多工業(yè)領(lǐng)域都應(yīng)用廣泛,例如移動(dòng)電話、汽車、飛機(jī),等等。在眾多的微機(jī)電器件中,微機(jī)電微鏡是其中最受矚目的一種。微機(jī)電微鏡在掃描成像,投影顯示、光通信,高集成度激光系統(tǒng)等應(yīng)用領(lǐng)域中的地位都是舉重輕重的。與眾多微機(jī)電器件相似,它也具有體積小、頻率高、易于大規(guī)模制造、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。本文的研究對(duì)象是微機(jī)電電磁扭轉(zhuǎn)微鏡。在實(shí)際工業(yè)生產(chǎn)中,由于安全,成本等因素的限制,為了保證實(shí)際使用中的魯棒性,器件的性能肯定會(huì)受到限制。一個(gè)常見(jiàn)的例子是微機(jī)電靜電驅(qū)動(dòng)型微鏡,若其控制輸入電壓過(guò)大,則會(huì)觸發(fā)其下拉現(xiàn)象,導(dǎo)致鏡面與底部電極相撞。因此,只能對(duì)其輸入電壓進(jìn)行限幅,但這樣也限制了其偏轉(zhuǎn)范圍。另一個(gè)類似的例子就是本文研究的微機(jī)電電磁驅(qū)... 

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微機(jī)電系統(tǒng)組成結(jié)構(gòu)框圖

第一章 緒論微機(jī)電微鏡電微鏡的驅(qū)動(dòng)原理是基于固、液、氣體的熱膨脹效應(yīng)來(lái)所選擇的電熱材料通常都具有較大的膨脹系數(shù)，經(jīng)過(guò)加，從而驅(qū)動(dòng)微鏡偏轉(zhuǎn)。大多數(shù)的電熱式微鏡的驅(qū)動(dòng)器都層和多層。

3圖 1-3 雙 S 型的 Bimorph 微鏡結(jié)構(gòu)在文獻(xiàn)[8]中，來(lái)自 Zyvex Corporation 的 Geisberger, Sarkar, Ellis, Skidmore 等要聚焦于解決與電熱式微鏡建模有關(guān)的一些問(wèn)題, 主要內(nèi)容包括幾種有潛力理特性分析以及有限元分析建模，并且將模擬結(jié)果與實(shí)際響應(yīng)進(jìn)行了比較。來(lái)自佛羅里達(dá)大學(xué)的 HuiKai Xie 教授團(tuán)隊(duì)在[9]中提出了一種晶片微設(shè)計(jì)的新其鉑作為加熱器放置在晶片末端，如圖 1-2 所示，論文中實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明了該模型大幅度地提升了其魯棒性能，并且其最大偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)到 124°。 該團(tuán)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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