機電系統(tǒng)建模和動態(tài)仿真分析是光刻機設計過程中確保整機系統(tǒng)穩(wěn)定性和高精度的關鍵步驟。已有相關建模仿真軟件對于復雜光刻機機電系統(tǒng)設計開發(fā)流程支撐不足,沒有融入多領域的設計知識,亟需開發(fā)一款針對性強的光刻機機電系統(tǒng)高效動態(tài)仿真軟件。本文基于動態(tài)設計理念設計與開發(fā)一款面向光刻機精密運動平臺機電系統(tǒng)設計的軟件動態(tài)仿真軟件。該軟件封裝集成了光刻機關鍵組件、系統(tǒng)模型動力學建模和分析方法,能夠有機地融入到研發(fā)單位的設計規(guī)程中,從而輔助設計人員快速實現(xiàn)對光刻機機電系統(tǒng)設計方案的仿真、分析與優(yōu)化,提高光刻機的開發(fā)效率,縮短設計周期。本文主要開展了以下工作:首先,研究了光刻機機電系統(tǒng)設計開發(fā)流程,總結了一套動力學驅動的光刻機機電系統(tǒng)設計流程。提出了一種具有可拓展性強,穩(wěn)定高效等特點的軟件開發(fā)技術路線。接著設計了軟件架構和工作流程,確定了實現(xiàn)參數(shù)化建模及動力學分析功能的軟件開發(fā)關鍵點。然后,針對光刻機機電系統(tǒng)等關鍵單元和獨立子系統(tǒng),分析其在光刻機機電系統(tǒng)下的工作動態(tài)特性,抽象出參數(shù)化建模模板,構建光刻機專業(yè)模板庫,在模板庫的支持下設計軟件關鍵的參數(shù)化建模和動力學分析優(yōu)化功能基于腳本的實現(xiàn)方式。最后,設計開發(fā)了... 

【文章來源】：華中科技大學湖北省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

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【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

L型構型XY運動平臺

華 中 科 技 大 學 碩 士 學 位 論 文圖 3.1 氣浮支承導向的單自由度運動平臺由于其光刻機機電系統(tǒng)為平臺式結構，為了實現(xiàn)系統(tǒng)預期的運動，必須設計導軌進導向，因此導軌的布置型式成為其結構關鍵組件設計的重要指標。目前常采用的導軌置型式有“L”型導軌、 “十”字型導軌、“H”型導軌、“口”型導軌，如圖 3.2 到 3.5 所示。支承氣浮組V導向氣浮組HXY

圖 3.1 氣浮支承導向的單自由度運動平臺由于其光刻機機電系統(tǒng)為平臺式結構，為了實現(xiàn)系統(tǒng)預期的運動，必須設計導軌進導向，因此導軌的布置型式成為其結構關鍵組件設計的重要指標。目前常采用的導軌置型式有“L”型導軌、 “十”字型導軌、“H”型導軌、“口”型導軌，如圖 3.2 到 3.5 所示。圖 3.2 L 型構型 XY 運動平臺 圖 3.3 “十”字型構型 XY 運動平臺X

【參考文獻】：
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本文編號：3013588