微凹槽作為功能微結(jié)構(gòu)的一種,在很多領(lǐng)域都有應(yīng)用,如微流控、減阻表面等,在一些特征零件上,微凹槽也是一個(gè)重要組成部分,如彈性敏感元件、陣列結(jié)構(gòu)等。金屬表面的微凹槽加工中,幾十微米寬的微凹槽加工相對(duì)困難,基于刀具軌跡運(yùn)動(dòng)加工方式能較好地填補(bǔ)這一空缺。基于刀具軌跡運(yùn)動(dòng)加工方法現(xiàn)有的研究充分體現(xiàn)了其在這一尺度范圍內(nèi)優(yōu)秀的加工能力,但仍有很大的加工潛力,如平面的加工、幾十微米寬凹槽的加工等。本文針對(duì)基于刀具軌跡運(yùn)動(dòng)加工的特點(diǎn),建立了切削力模型,對(duì)切削過(guò)程進(jìn)行了分析,探討了不同加工參數(shù)對(duì)平面加工、凹槽加工的影響,并規(guī)劃了微凹槽加工的工藝流程,具體研究?jī)?nèi)容包括以下幾個(gè)方面:首先,建立了基于三棱錐刀具軌跡運(yùn)動(dòng)加工的切削力模型,將每個(gè)切削周期分成多個(gè)部分,分析了隨著刀具的軌跡運(yùn)動(dòng)加工過(guò)程中未變形切削厚度、法向前角以及切削力的變化規(guī)律。對(duì)其中某一特定的前進(jìn)方向進(jìn)行計(jì)算分析。然后,通過(guò)一系列實(shí)驗(yàn)研究基于刀具軌跡運(yùn)動(dòng)加工的加工能力。研究壓電位移臺(tái)的工作特性,確定壓電位移臺(tái)較好的工作參數(shù)。通過(guò)不同前進(jìn)方向下的切削實(shí)驗(yàn),對(duì)切削力和表面形貌的進(jìn)行對(duì)比分析,揭示了一次走刀時(shí)進(jìn)給方向、切削深度等因素對(duì)切削力、棱邊頂部毛... 

【文章來(lái)源】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁(yè)數(shù)】：76 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

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飛秒激光加工及相應(yīng)加工的微結(jié)構(gòu)

圖 1-1 微細(xì)超聲振動(dòng)及相應(yīng)加工的微結(jié)構(gòu)[3-5]微細(xì)電化學(xué)加工、微細(xì)電火花加工和微細(xì)超聲波加工都有采用微細(xì)工具，通工具與基體間的作用去除材料，從而達(dá)到加工的目的。這種加工方式加工尺寸、置精確，且不受工具剛度影響，因此易加工復(fù)雜形狀。但微細(xì)工具的外包絡(luò)面相于傳統(tǒng)刀具形狀，由于材料限制、工具在加工中的損耗等，工具的尺寸受到限制

電子束曝光加工原理及加工的微圓錐結(jié)構(gòu)


本文編號(hào)：2978369