空氣靜壓軸承是指用空氣來(lái)作為潤(rùn)滑介質(zhì)的靜壓軸承,因?yàn)榭諝饽透邷?無(wú)污染,空氣靜壓軸承在半導(dǎo)體制造、高精度測(cè)量和超精密制造中被廣泛使用。傳統(tǒng)學(xué)者在對(duì)空氣靜壓軸承進(jìn)行研究時(shí),把研究重點(diǎn)放在對(duì)空氣靜壓軸承的靜態(tài)特性上。通過(guò)對(duì)氣體流動(dòng)粘性不可壓縮流體動(dòng)量守恒方程進(jìn)行求解,計(jì)算出空氣靜壓軸承內(nèi)氣體流動(dòng)狀態(tài),從而設(shè)計(jì)滿(mǎn)足功能要求的空氣靜壓軸承。隨著超精密制造裝備制造精度的不斷提高,對(duì)空氣靜壓軸承也提出了更高的要求,當(dāng)氣膜厚度降低到10μm以下時(shí),氣體稀薄效應(yīng)開(kāi)始對(duì)空氣靜壓軸承的性能產(chǎn)生影響,傳統(tǒng)研究方法不再適用,氣膜內(nèi)部的穩(wěn)態(tài)振動(dòng)也制約了空氣靜壓軸承的應(yīng)用前景。本文結(jié)合沖擊射流和分子動(dòng)力學(xué)的研究方法,對(duì)軸承內(nèi)部氣體流態(tài)進(jìn)行分析。通過(guò)數(shù)值模擬計(jì)算和實(shí)驗(yàn)研究對(duì)空氣靜壓軸承內(nèi)部微振動(dòng)形成機(jī)理進(jìn)行分析,對(duì)影響微振動(dòng)的因素影響規(guī)律進(jìn)行探究,為空氣靜壓軸承的設(shè)計(jì)提供新的思路和理論路線(xiàn)。本文主要研究?jī)?nèi)容如下:（1）空氣靜壓軸承氣膜在滑移區(qū)的承載特性研究分析了氣膜潤(rùn)滑的基本定律,通過(guò)與氣膜在滑移區(qū)的分層現(xiàn)象相結(jié)合,進(jìn)行了數(shù)值模擬與實(shí)驗(yàn)分析。搭建了測(cè)量空氣靜壓軸承承載的實(shí)驗(yàn)臺(tái),通過(guò)對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和數(shù)值模擬結(jié)果的對(duì)比,分... 

【文章來(lái)源】：昆明理工大學(xué)云南省

【文章頁(yè)數(shù)】：91 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

IC制造芯片圖

圖 1.1 IC 制造芯片圖 圖 1.2 高精度光刻機(jī)Fig 1.1 IC manufacturing chip diagram Fig 1.2 Lithography圖 1.3 三坐標(biāo)測(cè)量?jī)xFig 1.3 Coordinate measuring instrument盡管空氣靜壓軸承技術(shù)已取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步，且在工程上得到了應(yīng)用，但期以來(lái)，由于人們對(duì)于空氣靜壓軸承微振動(dòng)生成的機(jī)理以及承載特性的研究

圖 1.3 三坐標(biāo)測(cè)量?jī)xFig 1.3 Coordinate measuring instrumen技術(shù)已取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步，且在于空氣靜壓軸承微振動(dòng)生成的機(jī)米級(jí)精度的超精密制造裝備中，沒(méi)有根本的改變。這些關(guān)鍵問(wèn)題，也是提高我國(guó)高精密制造水平以液體為潤(rùn)滑介質(zhì)[8]，氣體潤(rùn)滑工作原理不同，氣體潤(rùn)滑軸承可。

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
[1]流體在納米微通道中的流動(dòng)及傳輸特性研究[D]. 張忠強(qiáng).大連理工大學(xué) 2010
[2]超精密氣浮定位工作臺(tái)的動(dòng)力學(xué)研究[D]. 何學(xué)明.華中科技大學(xué) 2007

碩士論文
[1]超高速空氣靜壓電主軸的動(dòng)靜態(tài)性能分析與實(shí)驗(yàn)研究[D]. 舒鵬程.廣東工業(yè)大學(xué) 2011



本文編號(hào)：2969955