【摘要】：高純鋁靶材被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件制造行業(yè),靶材的制備除了對高純鋁的純度有要求外,還要求有細小均勻的晶粒組織,以及高比例的(001)取向。本文研究了高純鋁在不同軋制及退火工藝制度下微觀組織與織構(gòu)的演變,探討了動態(tài)再結(jié)晶行為對高純鋁靶材組織與織構(gòu)的影響。研究了軋制及退火工藝對高純鋁組織與織構(gòu)的影響,結(jié)果表明:軋制過程中采用大的道次加工量相較于小的加工量更易產(chǎn)成均勻的組織;退火溫度與退火時間均對高純鋁組織有著較大的影響,最優(yōu)的退火工藝為240℃下保溫3小時;隨著冷軋形變量的增大,退火組織中(001)取向晶粒的比例增多,(112)、(123)、(124)取向晶粒的比例減少。熱軋+中間熱處理+冷軋相結(jié)合的軋制工藝制度能有效獲得晶粒尺寸細小的組織,其中熱軋溫度:300℃,中間熱處理:300℃×1h,冷軋道次間以冰水冷卻,道次加工量:50%,成品退火:240℃×3h,可獲得優(yōu)質(zhì)的高純鋁靶材,其平均晶粒尺寸:164μm,(001)取向晶粒比例31%。研究了動態(tài)再結(jié)晶行為對高純鋁靶材組織與織構(gòu)的影響,結(jié)果表明:軋制過程中,動態(tài)再結(jié)晶組織中含有較多的(001)取向晶粒,變形組織主要為(112)、(123)、(124)取向晶粒。退火過程中變形組織區(qū)域內(nèi)會生成新的(001)取向晶粒,而原動態(tài)再結(jié)晶組織中晶粒的取向基本保持不變。(001)取向晶粒的周圍若存在變形組織,會通過吞并發(fā)生長大,其他取向的動態(tài)再結(jié)晶晶粒退火后大小變化不大。低溫軋制下高純鋁動態(tài)再結(jié)晶組織中大部分晶粒為(001)取向,擇優(yōu)取向明顯。升高軋制溫度,動態(tài)再結(jié)晶組織中織構(gòu)成分將會變得多元化。
【學(xué)位授予單位】：東南大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2018
【分類號】：TG146.21;TG335
【圖文】：

Equal Channel Angular Processing 簡稱 ECA組織時發(fā)展而來的，主要通過變形過程中是一種制備超細晶材料的有效方法。后來，米級或納米級超細晶結(jié)構(gòu)的材料。 ECAP 的研究主要集中在等通道轉(zhuǎn)角擠壓)工藝上。ECAE 是使材料通過模具中兩個通道，如圖 1.1 所示。材料在大壓力 P 的出來，在通道轉(zhuǎn)角處材料受到應(yīng)變量很大有變化。材料的晶粒細化程度和性能受加摩擦系數(shù)以及變形過程中的熱處理等因素，目前雖然已經(jīng)進行了一些實驗，但仍存

當(dāng)位錯密度達到臨界值時晶粒就會1]研究了純鋁經(jīng)等徑角擠壓后的退火顯微組織特時會引起再結(jié)晶或者亞晶粗化，其內(nèi)部會生成通過 ECAP 工藝擠壓純鋁，這降低了純鋁的回發(fā)生回復(fù)，從而達到強度的飽和[22-24]�？傊�，領(lǐng)域有著潛在的應(yīng)用，但由于擠壓法受到變形寸的高純鋁板材。ple Forging 簡稱 MF)技術(shù)是在上世紀(jì) 90 年代由藝是大塑性變形方法之一，實質(zhì)上是一個多次6-27]。多向鍛造時保持金屬錠坯形狀不變，通過晶粒的目的。

【參考文獻】

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本文編號：2734320