高精度MEMS微慣性姿態(tài)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)
【圖文】:
南華大學(xué)碩士學(xué)位論文1988 年,,美國 Draper 實(shí)驗(yàn)室采用平板電容驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)閉環(huán)方法成功研制出第一款 MEMS 陀螺儀[2],雖然該陀螺儀各項(xiàng)性能指標(biāo)不太理想,但從此拉開了微機(jī)械陀螺研究序幕。2011 年,美國 ADI 公司[3]總結(jié)前人的經(jīng)驗(yàn)成功研制出了陀螺儀 ADIS16488,該陀螺儀量程為±450deg/s,零偏穩(wěn)定性為 3.5deg/h,封裝如圖 1.1 所示。同年,挪威 Sensonor 公司[4]也研制了一款型號(hào)為 STIM202 陀螺儀,其具有極強(qiáng)的嚴(yán)酷環(huán)境耐受力和卓越的抗震能力,量程為±400deg/s,零偏穩(wěn)定性為 0.5deg/h,體積小、功耗低并在全工作范圍內(nèi)設(shè)置有溫度補(bǔ)償,封裝如圖 1.2 所示。
南華大學(xué)碩士學(xué)位論文1988 年,美國 Draper 實(shí)驗(yàn)室采用平板電容驅(qū)動(dòng)和檢測(cè)閉環(huán)方法成功研制出第一款 MEMS 陀螺儀[2],雖然該陀螺儀各項(xiàng)性能指標(biāo)不太理想,但從此拉開了微機(jī)械陀螺研究序幕。2011 年,美國 ADI 公司[3]總結(jié)前人的經(jīng)驗(yàn)成功研制出了陀螺儀 ADIS16488,該陀螺儀量程為±450deg/s,零偏穩(wěn)定性為 3.5deg/h,封裝如圖 1.1 所示。同年,挪威 Sensonor 公司[4]也研制了一款型號(hào)為 STIM202 陀螺儀,其具有極強(qiáng)的嚴(yán)酷環(huán)境耐受力和卓越的抗震能力,量程為±400deg/s,零偏穩(wěn)定性為 0.5deg/h,體積小、功耗低并在全工作范圍內(nèi)設(shè)置有溫度補(bǔ)償,封裝如圖 1.2 所示。
【學(xué)位授予單位】:南華大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2019
【分類號(hào)】:TH122
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本文編號(hào):2683049
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