【摘要】： 本文以靜電懸浮加速度計敏感結(jié)構(gòu)為研究對象,針對目前敏感結(jié)構(gòu)電極框的存在的限制因素多、加工與檢測精度低、難以滿足需求這一瓶頸問題,探索敏感結(jié)構(gòu)的高精度加工與檢測技術(shù),力爭突破制約我國高精度靜電懸浮加速度計性能的瓶頸,為我國第一代重力測量衛(wèi)星提供技術(shù)支持。 論文的主要研究內(nèi)容和創(chuàng)新點如下： 1.針對電極框等關(guān)鍵部件的結(jié)構(gòu)特點、材料特性以及技術(shù)要求,確定了以確定性拋光技術(shù)為基礎(chǔ)的綜合誤差修正的工藝路線,在綜合分析其加工工藝特點的基礎(chǔ)上提出合理、可行的加工檢測方案。 2.提出一種新的高精度電極框內(nèi)表面面形誤差、內(nèi)電極面間垂直度、平行度誤差檢測方法,此方法不但可以得到亞微米精度的電極框形位誤差,而且還能獲得其殘差分布數(shù)據(jù),為電極框的形位誤差修正加工提供了依據(jù)。 3.建立了電極框內(nèi)表面三維誤差的數(shù)學(xué)模型,提出正方度的概念,并運用最小二乘和最小區(qū)域兩種評價方法實現(xiàn)了電極框內(nèi)表面形位誤差的綜合誤差評價算法,根據(jù)該方法可優(yōu)化出各表面加工余量的最佳分配,從而縮短加工周期,提高加工效率。 4.分析了液體噴射拋光技術(shù)的特點及應(yīng)用于電極框加工的技術(shù)優(yōu)勢,結(jié)合電極框的結(jié)構(gòu)特點進行了工藝參數(shù)設(shè)計和去除函數(shù)的實驗建模,根據(jù)此模型對某微晶塊進行了加工實驗,實驗表明液體噴射拋光技術(shù)對于電極框加工是合理、可行的。
【學(xué)位授予單位】：國防科學(xué)技術(shù)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2009
【分類號】：TG83;TH161.1

【參考文獻(xiàn)】

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1 唐富榮,薛大同;六軸加速度計的結(jié)構(gòu)原理與阻尼振動設(shè)計[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2002年04期

2 唐富榮,薛大同;靜電懸浮式三軸加速度傳感器的初步設(shè)計[J];傳感器技術(shù);2001年07期

3 孫文科;低軌道人造衛(wèi)星(CHAMP、GRACE、GOCE)與高精度地球重力場——衛(wèi)星重力大地測量的最新發(fā)展及其對地球科學(xué)的重大影響[J];大地測量與地球動力學(xué);2002年01期

4 李樹德;空間靜電加速度計研究之進展[J];大地測量與地球動力學(xué);2005年02期

5 徐新禹;李建成;鄒賢才;范春波;y囉籃，

本文編號：2682071