本文選題：單平行四桿柔性鉸鏈機(jī)構(gòu) + 柔性鉸鏈�。� 參考：《機(jī)械傳動(dòng)》2017年05期

【摘要】：單平行四桿柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)作為移動(dòng)副被廣泛用于超精密工作臺、精密傳感器中。超精密工作臺依靠其變形產(chǎn)生位移,故剛度特性對其定位精度影響較大。針對3種不同類型的四桿柔性鉸鏈機(jī)構(gòu),對其剛度進(jìn)行理論計(jì)算,同時(shí),基于有限元軟件ANSYS 12.0分析了3種不同類型的四桿柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)。通過比較、分析得出了不同的外形尺寸對于四桿柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)剛度的影響程度以及3種機(jī)構(gòu)之間的剛度關(guān)系,為確定3種機(jī)構(gòu)的適用場合和在MEMS設(shè)計(jì)過程中柔性鉸鏈的選用提供了依據(jù)。
[Abstract]:Single parallel four-bar flexure hinge mechanism is widely used as mobile pair in ultra-precision worktable and precision sensor. Because of the displacement caused by the deformation of the ultra-precision worktable, the stiffness characteristic has a great influence on its positioning accuracy. The stiffness of three kinds of four-bar flexure hinge mechanism is calculated theoretically. At the same time, three kinds of four-bar flexure hinge mechanism are analyzed based on finite element software ANSYS 12.0. Through comparison, the influence of different shape dimensions on the stiffness of four-bar flexure hinge mechanism and the stiffness relationship between three kinds of mechanisms are obtained. The results provide a basis for the selection of flexible hinges in MEMS design.
【作者單位】： 中國礦業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51305444) 教育部博士點(diǎn)基金(20120095120013) 江蘇省科技計(jì)劃項(xiàng)目(BY2014028-06)
【分類號】：TH112

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本文編號：2005758