本文關鍵詞：不同濕度條件下N、Si共摻雜DLC膜的摩擦學性能研究　出處：《摩擦學學報》2017年04期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：采用射頻化學氣相法沉積了氮、硅共摻雜類金剛石碳膜(N-Si-DLC).用X射線光電子能譜儀、拉曼光譜儀、表面形貌儀及掃描電子顯微鏡等對薄膜結(jié)構(gòu)進行了表征,用球-盤往復摩擦試驗機考察了不同濕度(RH為15%,45%和75%)空氣中薄膜與316L不銹鋼球配副的摩擦學性能.結(jié)果表明:與Si-DLC相比,N-Si-DLC膜內(nèi)sp~2C成分含量較高,N主要以C=N、C≡N、Si-N鍵形式存在于膜內(nèi);膜的內(nèi)應力低,硬度和楊氏模量較低;含N量少的N-Si-DLC膜顯示出更低的摩擦與磨損,其摩擦學性能對濕度的變化表現(xiàn)出較低的敏感性.
【作者單位】： 上海大學機械工程與自動化學院;
【分類號】：TB383.2;TH117
【正文快照】： 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)膜作為一種硬質(zhì)自潤滑薄膜材料,具有高硬度、高彈性模量和低摩擦磨損等優(yōu)異的力學與摩擦學性能[1 2],在滑動接觸表面具有廣泛的應用前景,多年來已有大量的研究報道.其中,較高的殘余應力和隨之而來的DLC膜與基體之間的黏著失效是限制其在工

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本文編號：1337668