發(fā)布時間：2017-12-12 10:30

  本文關(guān)鍵詞：超聲輔助拋光過程中流體性能仿真分析

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【摘要】：為探究超聲輔助拋光過程中流體特性對拋光性能的影響,分析超聲輔助對試件表面材料去除率的影響機(jī)理,分別對光滑及多孔拋光墊建立不同膜厚尺度下超聲振動拋光過程的FLUENT仿真模型,分析不同變量對流體的壓力分布、速度分布、氣相分布等特性的影響規(guī)律.仿真結(jié)果表明:超聲振動會使試件表面的流體劇烈變化,在橫向產(chǎn)生高速流動;工具與研拋表面之間的液膜越薄,在試件表面產(chǎn)生的壓力越大,流體橫向流動越強(qiáng),加工效率越高;拋光墊上的小孔會使液膜中的壓力分布出現(xiàn)階躍變化,產(chǎn)生更多有利于提高材料去除率的超聲空化.
【作者單位】： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51475119)
【分類號】：TG580.692;TG663
【正文快照】： 將超聲加工與研磨和拋光技術(shù)相結(jié)合對不同材料進(jìn)行研拋加工[1-4],可使材料去除率大大提高,表面加工質(zhì)量也有不同程度提高.楊衛(wèi)平[5]在化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)的基礎(chǔ)上施加橢圓超聲波振動,使單晶硅的材料去除率提高了22%,拋光后的單晶硅表面形貌得到明顯改善.Pandey等[6]應(yīng)用超聲輔

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 楊海強(qiáng);;超聲輔助車削技術(shù)與普通車削技術(shù)的對比分析[J];裝備制造技術(shù);2010年04期

2 葛枝;徐玉亭;劉東紅;;超聲輔助生鮮果蔬采后安全保障的研究進(jìn)展[J];食品工業(yè)科技;2012年21期

3 徐化能;張穎心;何潮洪;;超聲輔助浸取葛藤異黃酮及其數(shù)學(xué)模型(英文)[J];Chinese Journal of Chemical Engineering;2007年06期

4 沈s，

本文編號：1282176