光刻機(jī)是加工芯片的關(guān)鍵器件,每一個(gè)部件都要滿足高精度的設(shè)計(jì)要求,其中最基礎(chǔ)的一步是物鏡的加工,直接影響最后的線寬精度。本文針對全球?qū)＠麛?shù)據(jù)庫中的物鏡加工中的打磨拋光技術(shù)進(jìn)行了梳理,打磨拋光分為離子束拋光、磁流變拋光、拋光盤拋光和柔性介質(zhì)拋光四個(gè)技術(shù)分支,分析了各個(gè)分支的占比、申請趨勢以及技術(shù)發(fā)展脈絡(luò),以期對國內(nèi)物鏡加工的技術(shù)發(fā)展提供借鑒。 

【文章來源】：電子元器件與信息技術(shù). 2020,4(07)

【文章頁數(shù)】：2 頁

【部分圖文】：

各技術(shù)分支申請趨勢

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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本文編號：3118814