光刻機是加工芯片的關鍵器件,每一個部件都要滿足高精度的設計要求,其中最基礎的一步是物鏡的加工,直接影響最后的線寬精度。本文針對全球專利數(shù)據(jù)庫中的物鏡加工中的打磨拋光技術進行了梳理,打磨拋光分為離子束拋光、磁流變拋光、拋光盤拋光和柔性介質拋光四個技術分支,分析了各個分支的占比、申請趨勢以及技術發(fā)展脈絡,以期對國內(nèi)物鏡加工的技術發(fā)展提供借鑒。 

【文章來源】：電子元器件與信息技術. 2020,4(07)

【文章頁數(shù)】：2 頁

【部分圖文】：

各技術分支申請趨勢

【參考文獻】：
期刊論文
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博士論文
[1]光學鏡面離子束修形理論與工藝研究[D]. 周林.國防科學技術大學 2008



本文編號：3118814