本文關(guān)鍵詞：渦輪分子泵抽氣性能計(jì)算的誤差分析

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【摘要】：采用數(shù)據(jù)回歸方法,建立了不同葉片傾角、節(jié)弦比條件下單級(jí)渦輪葉片正反向傳輸幾率與速度比的數(shù)學(xué)關(guān)系式,通過(guò)計(jì)算機(jī)編程可直接獲得單級(jí)渦輪葉片的正反向傳輸幾率,進(jìn)而求出渦輪葉片的抽氣性能,提高了計(jì)算效率。分別采用渦輪葉片幾何中值參數(shù)計(jì)算方法、沿渦輪葉片齒長(zhǎng)逐段積分方法,對(duì)單級(jí)渦輪葉片和渦輪分子泵的抽氣性能進(jìn)行了計(jì)算,并與實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比。發(fā)現(xiàn):采用渦輪葉片幾何中值參數(shù)計(jì)算渦輪葉片抽氣性能存在誤差,對(duì)渦輪分子泵抽氣性能的計(jì)算值偏高,其計(jì)算誤差遠(yuǎn)大于分段積分法的計(jì)算誤差,后者更適用于對(duì)分子泵抽氣性能的設(shè)計(jì)計(jì)算。
【作者單位】： 東北大學(xué)機(jī)械工程與自動(dòng)化學(xué)院;中國(guó)工程物理研究院機(jī)械制造工藝研究所;
【關(guān)鍵詞】： 渦輪分子泵 傳輸幾率 數(shù)據(jù)回歸 抽氣性能 誤差分析
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)(2013YQ130429)
【分類號(hào)】：TB752.27
【正文快照】： 渦輪分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的精密動(dòng)量傳輸式真空栗,操作簡(jiǎn)單、啟動(dòng)時(shí)間短,在分子流態(tài)區(qū)域內(nèi)對(duì)各種氣體均具有較大的抽速,可以獲得(準(zhǔn))清潔的高真空和超高真空環(huán)境,廣泛應(yīng)用于高能加速器、重粒子加速器、表面物理和分析儀器、半導(dǎo)體和光學(xué)元器件制造、真空鍍膜等領(lǐng)域[1_5]。 渦

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：825842