本文關(guān)鍵詞：適應(yīng)復(fù)雜環(huán)境的真空計(jì)

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【摘要】：采用全陶瓷規(guī)管進(jìn)行電荷屏蔽,實(shí)現(xiàn)了對(duì)薄膜真空計(jì)的改進(jìn),以滿足在含有大量帶電離子及飽和水蒸汽等特殊真空環(huán)境中低真空度的快速準(zhǔn)確測量。介紹了提高傳感精度且降低溫度及水蒸氣對(duì)電容薄膜真空計(jì)影響的方法、器件選擇以及單片機(jī)控制系統(tǒng)等,并給出了部分測試結(jié)果。本文設(shè)計(jì)的低真空度測量系統(tǒng)具有模塊化、精度高、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn),為國內(nèi)特殊真空環(huán)境下低真空度測量系統(tǒng)提供了設(shè)計(jì)參考。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;杭州華達(dá)噴射真空設(shè)備有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 電荷屏蔽 飽和水蒸汽 電容薄膜真空計(jì) 單片機(jī)控制系統(tǒng)
【分類號(hào)】：TB772
【正文快照】： 設(shè)計(jì)復(fù)雜環(huán)境下精確測量低真空度真空計(jì)測量儀器,電容薄膜真空計(jì)的改進(jìn)是測量系統(tǒng)設(shè)計(jì)的核心。眾所周知,電容薄膜真空計(jì)是迄今為止唯一得到公認(rèn)的可作為低真空測量工作副標(biāo)的一種真空儀器,其工作原理是:把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化,即產(chǎn)生了電容的變化,再

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