飛秒激光測(cè)量微納材料熱物性參量研究進(jìn)展
本文關(guān)鍵詞:飛秒激光測(cè)量微納材料熱物性參量研究進(jìn)展
更多相關(guān)文章: 超快光學(xué) 飛秒激光 微納尺度 物性測(cè)量
【摘要】:隨著微納加工技術(shù)的發(fā)展,微納尺度下材料的熱物性參量測(cè)量變得尤為重要。首先介紹了飛秒激光測(cè)量微納尺度下材料熱物性參量的基本原理、測(cè)量系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)方法,對(duì)比了所采用的雙溫模型、雙曲兩步輻射模型、雙曲一步模型、拋物一步模型、雙相滯模型和拋物兩步模型等主要的傳熱模型。其次,介紹了飛秒激光測(cè)量物性參量的基本特點(diǎn)。然后,介紹了單波長(zhǎng)正面抽運(yùn)與探測(cè)系統(tǒng)、雙波長(zhǎng)正面抽運(yùn)及探測(cè)和加熱探測(cè)不同側(cè)3種常見結(jié)構(gòu)的飛秒激光物性測(cè)量系統(tǒng)。最后,展望了飛秒激光物性測(cè)量的研究方向。
【作者單位】: 中國(guó)工程物理研究院材料研究所;
【關(guān)鍵詞】: 超快光學(xué) 飛秒激光 微納尺度 物性測(cè)量
【分類號(hào)】:TB94;TN249
【正文快照】: 引言隨著微電子和微納加工技術(shù)的飛速發(fā)展,微納尺度半導(dǎo)體、金屬器件的熱學(xué)性質(zhì)也受到了越來(lái)越多的關(guān)注,對(duì)其表面和表面下微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行準(zhǔn)確的定量分析和預(yù)測(cè)將直接影響到微納米器件的熱設(shè)計(jì)以及熱管理[1]。微納尺度下材料的物性和體材料有著較大差別[2],因此需要對(duì)微納尺度下
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5 魯欣;張U,
本文編號(hào):682682
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