本文關鍵詞：金剛石襯底的氧化釩薄膜光電特性研究

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【摘要】：利用射頻磁控濺射方法,在光學級單晶金剛石上制備了氧化釩薄膜,然后對其結構與厚度、表面形貌、電學及光學性能進行了表征。實驗結果表明,制備出的薄膜表面均勻性良好,為單一組分的V_2O_5薄膜,在(001)面有明顯的擇優(yōu)取向,薄膜結晶度和表面形貌非常好;電學性能方面,獲得了三組不同厚度V_2O_5薄膜溫阻特性曲線,當薄膜為150 nm時,薄膜的電學突變特性最好,電阻值變化幅度將近3個數(shù)量級;對不同厚度薄膜的光學響應特性進行了測試分析,當受到高能激光照射時,薄膜均出現(xiàn)了相變和回復,薄膜的光學開關時間均隨著膜厚的增加而增加,其中光學關閉時間的變化范圍為1.6~2.5 ms,回復時間的變化范圍為26~33 ms。
【作者單位】： 南京航空航天大學機電學院;
【關鍵詞】： VO薄膜 單晶金剛石 電學性能 光學特性
【基金】：國家自然科學基金(51275230) 航空科學基金(20140152001) 江蘇省研究生培養(yǎng)創(chuàng)新工程(KYLX_0226) 中央高�；究蒲袠I(yè)務費專項資金
【分類號】：O484.4
【正文快照】： 0引言臨近空間飛行器是指工作于臨近空間并利用臨近空間獨有資源和特點來執(zhí)行一定任務的一類飛行器,由于其自身的顯著特點,具有潛在的軍、民兩用價值而成為各國近期研究的熱點[1-3]。但是紅外激光武器的迅速崛起發(fā)展和投入實戰(zhàn),將對臨近空間飛行器造成致命的威脅,近幾年隨著激

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