本文關(guān)鍵詞：雙靶磁控濺射透明導(dǎo)電氧化銦錫鋯薄膜及其性能

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【摘要】：利用ITO(InSnO)靶和金屬Zr靶,采用磁控濺射法在玻璃襯底上制備了ITO和ITZO(InSnZrO)薄膜。高價(jià)金屬元素Zr的摻雜導(dǎo)致了薄膜向(400)晶面擇優(yōu)取向轉(zhuǎn)變,促使ITO薄膜具有更好的晶化程度、較低的表面粗糙度和更好的光電性能。根據(jù)處于特定介質(zhì)環(huán)境中ITO和ITZO薄膜的相對(duì)電阻變化(△R/R),ITZO薄膜顯示了比ITO薄膜更好的化學(xué)和熱穩(wěn)定性。通過鹽酸腐蝕前后的掃描電鏡和X射線光電子能譜儀測試表明,Zr的加入提高了薄膜的穩(wěn)定性,降低了氯離子穿透氧化層的能力,提高了氧化層的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性,大大降低了薄膜發(fā)生點(diǎn)蝕的概率。薄膜在0.1 mol/L鹽酸中的極化曲線表明,ITZO薄膜發(fā)生了自鈍化現(xiàn)象,顯示了較好的耐腐蝕性能。除了晶體結(jié)構(gòu)的影響之外,穩(wěn)定性較好的氧化鋯也提高了薄膜的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。
【作者單位】： 常州機(jī)電職業(yè)技術(shù)學(xué)院;常州中科常泰等離子體技術(shù)有限公司;上海交通大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 氧化銦錫 薄膜 磁控濺射 鋯 摻雜 穩(wěn)定性 耐蝕性
【基金】：江蘇省自然科學(xué)基金(BK20161201) 常州市科技支撐計(jì)劃項(xiàng)目(CE20152007) 江蘇高校品牌專業(yè)建設(shè)工程資助項(xiàng)目(PPZY2015B187) 江蘇高�！扒嗨{(lán)工程”中青年學(xué)術(shù)帶頭人培養(yǎng)資助項(xiàng)目(201611)
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： ITO(氧化銦錫InSnO)薄膜的電阻率低,可見光透過率高,作為透明導(dǎo)電電極材料常用于微電子器件中根據(jù)實(shí)際工作條件需要,微電子器件有時(shí)會(huì)用在一些苛刻環(huán)境中,比如化學(xué)環(huán)境、高溫環(huán)境等,此時(shí)ITO薄膜的電學(xué)穩(wěn)定性和使用可靠性對(duì)器件的使用壽命和性能起著關(guān)鍵的作用。盡管ITO薄膜表

【相似文獻(xiàn)】

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1 倪瑞昌;;高生產(chǎn)能力的在線平面磁控濺射系統(tǒng)[J];玻璃;1988年03期

2 王德苗,孫禮本;磁控濺射塑料金屬化新工藝的研究[J];塑料工業(yè);1986年03期

3 揚(yáng);磁控濺射非晶態(tài)金屬涂層[J];兵器材料科學(xué)與工程;1987年03期

4 黃寧康;王明華;申勇;郭華聰;王賢恩;;磁控濺射司太立合金簿膜[J];電力技術(shù);1987年06期

5 徐凈人,滕鑫康;高溫超導(dǎo)體磁控濺射電極接點(diǎn)的研究[J];稀有金屬材料與工程;1991年03期

6 劉虎先;磁控濺射節(jié)能防窺鍍膜玻璃[J];中國建材;1993年03期

7 劉虎先;;磁控濺射節(jié)能防窺鍍膜玻璃在萊州問世[J];建材工業(yè)信息;1993年13期

8 徐政;俞曉正;蔡楚江;沈志剛;;空心微珠表面磁控濺射和化學(xué)鍍金屬膜的特性比較[J];過程工程學(xué)報(bào);2006年S2期

9 王福會(huì),樓翰一;影響磁控濺射不銹鋼粘附性的因素[J];材料科學(xué)進(jìn)展;1989年02期

10 黃建民;高瑞珍;;磁控濺射最佳工藝參數(shù)的研究[J];表面技術(shù);1989年04期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 梁愛鳳;楊化偉;王宇鋼;;磁控濺射與離子鍍技術(shù)在高分子核孔膜中的沉積形貌研究[A];2008年全國荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會(huì)議暨中國電工技術(shù)學(xué)會(huì)第十二屆電子束離子束學(xué)術(shù)年會(huì)、中國電子學(xué)會(huì)焊接專業(yè)委員會(huì)第九屆全國電子束焊接學(xué)術(shù)交流會(huì)、粒子加速器學(xué)會(huì)第十一屆全國離子源學(xué)術(shù)交流會(huì)、中國機(jī)械工程學(xué)會(huì)焊接分會(huì)2008年全國高能束加工技術(shù)研討會(huì)、北京電機(jī)工程學(xué)會(huì)第十屆粒子加速器學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2008年

2 楊種田;楊兵;周霖;劉傳勝;葉明生;付德君;;多弧-中頻磁控濺射沉積Ti-Si-N結(jié)構(gòu)與性能[A];2008年全國荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會(huì)議暨中國電工技術(shù)學(xué)會(huì)第十二屆電子束離子束學(xué)術(shù)年會(huì)、中國電子學(xué)會(huì)焊接專業(yè)委員會(huì)第九屆全國電子束焊接學(xué)術(shù)交流會(huì)、粒子加速器學(xué)會(huì)第十一屆全國離子源學(xué)術(shù)交流會(huì)、中國機(jī)械工程學(xué)會(huì)焊接分會(huì)2008年全國高能束加工技術(shù)研討會(huì)、北京電機(jī)工程學(xué)會(huì)第十屆粒子加速器學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2008年

3 王軍生;童洪輝;趙嘉學(xué);韓大凱;戴彬;;影響磁控濺射均勻性的因素[A];第十三屆全國等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

4 鄭華;劉實(shí);于洪波;王隆保;施力群;劉超卓;;磁控濺射方法制備含氦鈦膜及氦的熱解吸研究[A];第八屆全國核靶技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文摘要集[C];2004年

5 王成彪;于翔;劉陽;于德洋;呂建國;;三種中頻對(duì)靶磁控濺射類金剛石膜的性能比較[A];第六屆全國表面工程學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2006年

6 張龍;朱健;吳t，

本文編號(hào)：643335