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TiN硬質(zhì)薄膜制備技術(shù)的研究進(jìn)展

發(fā)布時(shí)間:2017-07-29 04:22

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【摘要】:TiN硬質(zhì)薄膜因其優(yōu)良性能而得到廣泛應(yīng)用。介紹了幾種制備TiN硬質(zhì)薄膜的新方法,分析了制備機(jī)理及其工藝特點(diǎn),并展望了硬質(zhì)薄膜制備技術(shù)的發(fā)展方向。
【作者單位】: 北京科技大學(xué)天津?qū)W院;
【關(guān)鍵詞】TiN 硬質(zhì)薄膜 制備
【分類號(hào)】:TB43
【正文快照】: 涂層刀具的出現(xiàn)和應(yīng)用是金屬切削刀具發(fā)展史上的一次革命。將超硬薄膜材料鍍覆于金屬切削刀具表面而制成的涂層刀具,適應(yīng)了現(xiàn)代制造中高速切削、干式切削及微潤(rùn)滑切削等對(duì)高性能切削刀具的技術(shù)要求,提高了金屬切削刀具在現(xiàn)代機(jī)械加工過程中的耐用度和適應(yīng)性[1],使難加工材料的

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3 曹德峰;邢丕峰;韋建軍;易泰民;楊蒙生;鄭鳳成;;鉬薄膜制備技術(shù)研究[J];稀有金屬材料與工程;2011年S2期

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9 雷潔紅;段浩;唐永建;;LiH薄膜制備技術(shù)進(jìn)展[J];四川理工學(xué)院學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2010年04期

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2 韓高榮;汪建勛;;CVD大面積薄膜制備技術(shù)及新型鍍膜玻璃開發(fā)[A];TFC’03全國(guó)薄膜技術(shù)學(xué)術(shù)研討會(huì)論文摘要集[C];2003年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 劉朋闖;二硼化鋯靶材及薄膜制備技術(shù)研究[D];中國(guó)工程物理研究院;2012年

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本文編號(hào):587489

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