本文關(guān)鍵詞：TiN硬質(zhì)薄膜制備技術(shù)的研究進(jìn)展

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【摘要】：TiN硬質(zhì)薄膜因其優(yōu)良性能而得到廣泛應(yīng)用。介紹了幾種制備TiN硬質(zhì)薄膜的新方法,分析了制備機(jī)理及其工藝特點(diǎn),并展望了硬質(zhì)薄膜制備技術(shù)的發(fā)展方向。
【作者單位】： 北京科技大學(xué)天津?qū)W院;
【關(guān)鍵詞】： TiN 硬質(zhì)薄膜 制備
【分類(lèi)號(hào)】：TB43
【正文快照】： 涂層刀具的出現(xiàn)和應(yīng)用是金屬切削刀具發(fā)展史上的一次革命。將超硬薄膜材料鍍覆于金屬切削刀具表面而制成的涂層刀具,適應(yīng)了現(xiàn)代制造中高速切削、干式切削及微潤(rùn)滑切削等對(duì)高性能切削刀具的技術(shù)要求,提高了金屬切削刀具在現(xiàn)代機(jī)械加工過(guò)程中的耐用度和適應(yīng)性[1],使難加工材料的

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本文編號(hào)：587489