本文關(guān)鍵詞：微壓電復(fù)合材料超聲波探測器的制備及應(yīng)用，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：基于微細加工工藝,設(shè)計并制備了一種指向性良好的壓電復(fù)合材料的超聲波探測器。該探測器由壓電振子、阻尼器、中繼板和特高頻(UHF)連接器構(gòu)成。壓電振子由4×4個(80μm×80μm×130μm)(長×寬×高)的鋯鈦酸鉛(PZT)壓電柱狀陣列及陣列縫隙填充環(huán)氧樹脂而構(gòu)成。當(dāng)壓電振子施加高頻交流電壓時,柱狀PZT陣列產(chǎn)生縱向伸縮運動,從而產(chǎn)生超聲波并向介質(zhì)輻射。作為填充材料的環(huán)氧樹脂,能夠吸收掉因柱狀PZT陣列其他方向振動而引起的噪聲,使探測器在縱向上能產(chǎn)生指向性良好的超聲波,從而提高了該探測器的靈敏度。測試結(jié)果表明,該微壓電探測器指向性好,靈敏度高,精度高和抗干擾性好,可應(yīng)用在泥沙的含水量測量中。
【作者單位】： 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院理學(xué)院;上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院軌道交通學(xué)院;日本立命館大學(xué)微系統(tǒng)系;
【關(guān)鍵詞】： 超聲波探測器 壓電復(fù)合材料 微細加工工藝 超聲波指向性
【基金】：國家自然科學(xué)基金課題項目(60777016) 國家自然基金課題項目(51405303) 上海聯(lián)盟計劃項目(LM201441) 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院重點學(xué)科項目(10210Q150005) 上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院人才引進基金項目(YJ2014-03)
【分類號】：TB553;TB33
【正文快照】： 超聲波因其頻率下限大于人的聽覺上限而得名,是一種頻率高于20000赫茲的聲波。它方向性好,穿透能力強,易于獲得較集中的聲能,在水中傳播距離遠,可用于測距、測速、清洗、焊接、碎石、殺菌消毒等,在醫(yī)學(xué)、軍事、工業(yè)、農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域上有很多的應(yīng)用[1-6]。近年來,隨著超聲傳感技術(shù)

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本文編號：484063