發(fā)布時間：2017-06-22 14:11

  本文關(guān)鍵詞：納米有機薄膜有效導(dǎo)電層的反射光譜法研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為研究納米厚度有機薄膜生長過程中有效導(dǎo)電層的判定方法,揭示反射光譜蘊含的薄膜生長機理,基于多相膜層等效結(jié)構(gòu)和光學(xué)菲涅耳方程建立了材料光學(xué)系數(shù)和膜層厚度為參數(shù)的差分反射光譜數(shù)學(xué)模型,提出了依據(jù)相對擬合誤差的擬合度評價方法.通過分析室溫真空環(huán)境納米厚度并五苯薄膜在Si/SiO_2基底上生長過程的差分反射光譜,發(fā)現(xiàn)采用四相膜層結(jié)構(gòu)和并五苯薄膜晶體結(jié)構(gòu)光學(xué)系數(shù)擬合的差分反射光譜與實驗數(shù)據(jù)符合良好,確認并五苯分子主要以薄膜結(jié)構(gòu)的形態(tài)進行生長,膜厚生長速率約為0.2 nm/min.該方法避免了反射光譜中多膜層結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的干涉信號對生長機理分析的影響.更為重要的是,相對擬合誤差隨生長時間的變化趨勢與由薄膜構(gòu)建的場效應(yīng)管結(jié)構(gòu)的電學(xué)特性呈現(xiàn)出明顯的相關(guān)性,不僅反映了生長過程中薄膜成膜模式的演變趨勢,還清晰地揭示了有效導(dǎo)電層的形成過程,為光譜法研究薄膜生長機理和無法進行電學(xué)測試的條件下監(jiān)測薄膜電學(xué)特性提供了新手段.
【作者單位】： 天津大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室;天津大學(xué)精密儀器與光電子工程學(xué)院;山東大學(xué)控制科學(xué)與工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 有機薄膜 光學(xué)模型 有效導(dǎo)電層 反射光譜
【基金】：國家自然科學(xué)基金(批準號:61008028,11504201) 全國優(yōu)秀博士學(xué)位論文作者專項資金(批準號:201140) 教育部新世紀優(yōu)秀人才支持計劃(批準號:11-0366) “111”引智計劃(批準號:B07014)資助的課題~~
【分類號】：O484.41
【正文快照】： 1引言 有機薄膜器件作為微電子、光電子、太陽電池、生物傳感器等的核心組成部分,取得了令人矚目的發(fā)展成果[1-3],如高性能、可伸縮的場效應(yīng)晶體管具備高達102 cm/(V·s)的場效應(yīng)遷移率,可與硅基場效應(yīng)管相媲美[4];基于并五苯(PEN)場效應(yīng)晶體管的蛋白質(zhì)傳感器,實現(xiàn)了牛血清白

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本文編號：472072