回轉(zhuǎn)體表面掩膜微細(xì)電解加工有限元分析及試驗(yàn)研究
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【部分圖文】:
圖1 加工過(guò)程原理示意圖
基于掩膜的回轉(zhuǎn)體表面微細(xì)電解加工過(guò)程原理如圖1所示。工件表面涂覆感光藍(lán)油,顯影后由專(zhuān)用夾具固定,按一定路徑噴射電解液,配合高速旋轉(zhuǎn)的黃銅套筒,使電解液充分分布在陰、陽(yáng)極之間的加工間隙內(nèi),電流集中到未被感光藍(lán)油保護(hù)的加工區(qū)域,發(fā)生電化學(xué)反應(yīng),從而腐蝕、去除陽(yáng)極材料。根據(jù)上述加工過(guò)程....
圖2 加工過(guò)程的仿真幾何模型
根據(jù)上述加工過(guò)程原理,建立單個(gè)微坑電解加工過(guò)程的幾何模型,提取仿真區(qū)域如圖2所示。其中,Ω區(qū)域內(nèi)充滿電解液,1,2,4,5為感光藍(lán)膜邊界,6和8分別為電解液入口和出口,7為工件陰極邊界,3為工件陽(yáng)極邊界,需要精確仿真計(jì)算,以反映微坑型面輪廓曲線的變化。1.2電場(chǎng)模型
圖3 加工電壓12 V時(shí)不同加工時(shí)間下電勢(shì)分布圖
以加工電壓12V為例,不同加工時(shí)間下的電勢(shì)分布圖如圖3所示。由圖3可知,在電解加工過(guò)程中,工具陰極和工件陽(yáng)極之間的加工間隙內(nèi)存在明顯的電場(chǎng)變化,電勢(shì)差接近12V,在未被感光藍(lán)油覆蓋的區(qū)域存在著明顯的蝕刻現(xiàn)象。
圖4 加工電壓12 V時(shí)不同加工時(shí)間下微坑形貌輪廓曲線
根據(jù)加工過(guò)程模型求解所得的單個(gè)微坑輪廓曲線如圖4所示。由圖4可知,在加工電壓不變的情況下,隨著加工時(shí)間的不斷增大,陽(yáng)極工件表面材料的電化學(xué)腐蝕時(shí)間增長(zhǎng),微坑深度不斷增加;由于相同電壓下加工時(shí)間的增大對(duì)于仿真模型中電絕緣區(qū)域影響較小,所以微坑直徑變化不明顯。
本文編號(hào):4030003
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