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回轉(zhuǎn)體表面掩膜微細(xì)電解加工有限元分析及試驗(yàn)研究

發(fā)布時(shí)間:2025-02-05 14:46
   針對(duì)在回轉(zhuǎn)體零件表面加工微織構(gòu)的難題,文中建立了回轉(zhuǎn)體表面微細(xì)電解加工的多物理場(chǎng)耦合數(shù)學(xué)模型,利用COMSOL Multiphysics軟件進(jìn)行了仿真求解。設(shè)計(jì)了掩膜電解加工專(zhuān)用夾具和電解液系統(tǒng),優(yōu)化了電解液的流道結(jié)構(gòu),在較低加工電壓和較短加工時(shí)間的條件下,開(kāi)展了工藝試驗(yàn)。通過(guò)對(duì)比分析微坑深度的仿真值和測(cè)量值,驗(yàn)證了加工過(guò)程多物理場(chǎng)耦合仿真模型的準(zhǔn)確性,得到了形狀精度高、均勻排布的直徑為φ200μm的微坑陣列,為在回轉(zhuǎn)體表面加工微織構(gòu)提供了一種合理有效的方法。

【文章頁(yè)數(shù)】:7 頁(yè)

【部分圖文】:

圖1 加工過(guò)程原理示意圖

圖1 加工過(guò)程原理示意圖

基于掩膜的回轉(zhuǎn)體表面微細(xì)電解加工過(guò)程原理如圖1所示。工件表面涂覆感光藍(lán)油,顯影后由專(zhuān)用夾具固定,按一定路徑噴射電解液,配合高速旋轉(zhuǎn)的黃銅套筒,使電解液充分分布在陰、陽(yáng)極之間的加工間隙內(nèi),電流集中到未被感光藍(lán)油保護(hù)的加工區(qū)域,發(fā)生電化學(xué)反應(yīng),從而腐蝕、去除陽(yáng)極材料。根據(jù)上述加工過(guò)程....


圖2 加工過(guò)程的仿真幾何模型

圖2 加工過(guò)程的仿真幾何模型

根據(jù)上述加工過(guò)程原理,建立單個(gè)微坑電解加工過(guò)程的幾何模型,提取仿真區(qū)域如圖2所示。其中,Ω區(qū)域內(nèi)充滿電解液,1,2,4,5為感光藍(lán)膜邊界,6和8分別為電解液入口和出口,7為工件陰極邊界,3為工件陽(yáng)極邊界,需要精確仿真計(jì)算,以反映微坑型面輪廓曲線的變化。1.2電場(chǎng)模型


圖3 加工電壓12 V時(shí)不同加工時(shí)間下電勢(shì)分布圖

圖3 加工電壓12 V時(shí)不同加工時(shí)間下電勢(shì)分布圖

以加工電壓12V為例,不同加工時(shí)間下的電勢(shì)分布圖如圖3所示。由圖3可知,在電解加工過(guò)程中,工具陰極和工件陽(yáng)極之間的加工間隙內(nèi)存在明顯的電場(chǎng)變化,電勢(shì)差接近12V,在未被感光藍(lán)油覆蓋的區(qū)域存在著明顯的蝕刻現(xiàn)象。


圖4 加工電壓12 V時(shí)不同加工時(shí)間下微坑形貌輪廓曲線

圖4 加工電壓12 V時(shí)不同加工時(shí)間下微坑形貌輪廓曲線

根據(jù)加工過(guò)程模型求解所得的單個(gè)微坑輪廓曲線如圖4所示。由圖4可知,在加工電壓不變的情況下,隨著加工時(shí)間的不斷增大,陽(yáng)極工件表面材料的電化學(xué)腐蝕時(shí)間增長(zhǎng),微坑深度不斷增加;由于相同電壓下加工時(shí)間的增大對(duì)于仿真模型中電絕緣區(qū)域影響較小,所以微坑直徑變化不明顯。



本文編號(hào):4030003

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