為提高微電感傳感器芯片的檢測(cè)精度,研究鐵磁性顆粒速度與電感信號(hào)幅值大小的關(guān)系,開(kāi)發(fā)一種微型電感式傳感器芯片,建立了檢測(cè)系統(tǒng),通過(guò)實(shí)驗(yàn)研究鐵磁性顆粒的速度和由顆粒產(chǎn)生的感應(yīng)脈沖信號(hào)幅值之間的關(guān)系。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:對(duì)于相同的鐵顆粒,感應(yīng)脈沖信號(hào)的幅值與通過(guò)芯片時(shí)的速度呈線性負(fù)相關(guān)。研究結(jié)果為改進(jìn)微電感傳感器芯片的檢測(cè)精度和靈敏度提供了參考。

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圖1實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)圖

實(shí)驗(yàn)選用35μm的鐵顆粒作為待測(cè)顆粒。將金屬微粒和纖維進(jìn)行加熱，利用融化狀纖維包裹金屬微顆粒實(shí)現(xiàn)固定，并將塑料纖維與移動(dòng)平臺(tái)相連。通過(guò)移動(dòng)平臺(tái)控制顆粒的移動(dòng)速度，將顆粒的移動(dòng)速度分別設(shè)置為2.5、3、5、6.25、10mm/s。為防止偶然因素對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)產(chǎn)生偏差，以相同的速度進(jìn)行....

圖2電感脈沖信號(hào)與顆粒速度關(guān)系

如圖2所示，當(dāng)用電感法計(jì)數(shù)鐵顆粒時(shí)，鐵顆粒產(chǎn)生的電感脈沖信號(hào)的幅值隨顆粒通過(guò)檢測(cè)區(qū)的速度的增加而減小，電感的變化與鐵顆粒通過(guò)檢測(cè)區(qū)的速度近似線性。當(dāng)鐵顆粒通過(guò)檢測(cè)區(qū)域時(shí)，它們被感應(yīng)線圈產(chǎn)生的交變磁場(chǎng)磁化。由于通過(guò)時(shí)間不同，鐵顆粒的磁化飽和程度也不同，渦流效應(yīng)也不同。顆粒高速通過(guò)感....

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