多用途實(shí)驗(yàn)用真空氣氛爐主要用于真空或氫氣氣氛中對(duì)各類(lèi)材料進(jìn)行燒結(jié)、退火等工藝。本系統(tǒng)最高溫度可達(dá)2100℃,冷態(tài)極限真空度優(yōu)于5×10^-5 Pa,熱態(tài)極限真空度優(yōu)于5×10^-4 Pa,溫度均勻性滿足±5℃,實(shí)現(xiàn)了工藝過(guò)程對(duì)高真空環(huán)境、高溫環(huán)境、氣氛環(huán)境的要求�？刂葡到y(tǒng)采用西門(mén)子公司的S7-1200系列PLC,監(jiān)控系統(tǒng)采用紫金橋Real Info組態(tài)軟件,可以實(shí)現(xiàn)在不同環(huán)境下的多用途自動(dòng)工作,并對(duì)工作過(guò)程進(jìn)行記錄。實(shí)際測(cè)試表明,該系統(tǒng)占地面積小、運(yùn)行安全可靠、能夠滿足不同的工藝需求。

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圖1多用途實(shí)驗(yàn)用真空氣氛爐主要結(jié)構(gòu)示意圖

多用途實(shí)驗(yàn)用真空氣氛爐主要由工作室、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、水路系統(tǒng)、架臺(tái)以及控制柜、變壓器柜和外部配線等組成，如圖1所示。1.1工作室

圖2控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

為實(shí)現(xiàn)多用途實(shí)驗(yàn)用真空氣氛爐自動(dòng)控制，設(shè)計(jì)了如圖2所示控制系統(tǒng)，主要由工控機(jī)、S7-1200PLC(ProgrammableLogicController）、儀表、模塊及真空泵、真空閥門(mén)、氣缸、位置傳感器等信號(hào)組成�？刂葡到y(tǒng)由工控機(jī)、S7-1200PLC、真空計(jì)、溫控儀表等....

圖3自動(dòng)控制流程圖

過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)是在紫金橋RealInfo監(jiān)控組態(tài)軟件平臺(tái)上設(shè)計(jì)的數(shù)據(jù)管理程序，編寫(xiě)的軟件具有操作簡(jiǎn)便、界面友好的特點(diǎn)，具有用戶權(quán)限登陸、工作狀態(tài)監(jiān)控、參數(shù)設(shè)定、曲線設(shè)定、數(shù)據(jù)采集、歷史數(shù)據(jù)報(bào)表、壓升率測(cè)試、歷史曲線、控制操作等功能。程序開(kāi)始運(yùn)行時(shí)，輸入正確的用戶名和密碼后，即自動(dòng)....

圖4真空環(huán)境工藝流程示意圖

真空環(huán)境工藝流程如圖4所示。氣氛環(huán)境工藝流程如圖5所示。

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