采用溶膠-凝膠法制備了具有W型減反特性的Ti O₂-SiO₂/SiO₂復(fù)合薄膜,并分別調(diào)控了TiO₂及TiO₂-SiO₂混合介質(zhì)薄膜折射率,探索了不同制備條件對(duì)TiO₂薄膜折射率的影響機(jī)理。通過場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡、能譜儀、橢偏儀、紫外–可見-紅外分光光度計(jì)研究了薄膜微觀結(jié)構(gòu)、薄膜組分、折射率和光學(xué)透過率,通過TFcal軟件模擬了雙層復(fù)合薄膜的光學(xué)透過率線型。研究表明:溶膠pH值對(duì)TiO₂薄膜折射率影響顯著,其影響的前驅(qū)體水解速率對(duì)折射率的影響占主要作用,并且隨著pH值的增大薄膜折射率減小,而水/鈦比對(duì)薄膜折射率影響不顯著。在TiO₂與Si O₂混合溶膠中兩者物質(zhì)的量比為1.2:1.0時(shí),獲得可用于制備雙層復(fù)合W型減反膜系底層的薄膜,其橢偏儀擬合測(cè)試折射率約為1.68。最終制備的復(fù)合TiO₂-SiO₂/SiO₂

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【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)
    1.1 TiO2與SiO2溶膠制備
    1.2 薄膜制備
    1.3 薄膜表征
2 結(jié)果與討論
    2.1 p H值及去離子水與鈦酸丁酯的物質(zhì)的量比對(duì)TiO2薄膜折射率的影響
    2.2 n(TiO2)/n(SiO2)混合物質(zhì)的量比對(duì)TiO2-SiO2混合介質(zhì)膜折射率的影響
    2.3 雙層復(fù)合薄膜透過率模擬與測(cè)試
3 結(jié)論



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