為了降低雜散光導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量下降的問題,以聚碳酸酯為基板,采用電子束離子輔助的方法制備了可見光波段超低減反射膜.采用真空退火法降低了由于鍍膜過程中基板溫度升高導(dǎo)致的熱拉應(yīng)力,并使用MATLAB軟件擬合分析了材料的應(yīng)力,通過研究離子源沉積工藝,解決了膜裂的問題.通過MATLAB模擬調(diào)節(jié)比例-積分-微分控制器控制參數(shù),穩(wěn)定了成膜速率,解決了厚度誤差導(dǎo)致光譜漂移的問題.測試結(jié)果表明:該膜層在430～700 nm,絕對反射率小于0.15%. 

【文章頁數(shù)】：10 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 膜系設(shè)計
    1.1 材料的選擇
    1.2 理論設(shè)計
2 薄膜制備及測試分析
    2.1 光譜測試與分析
    2.2 膜層環(huán)境適應(yīng)性測試
3 結(jié)論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]車載抬頭顯示光學(xué)系統(tǒng)塑料元件反射膜的研制[J]. 劉冬梅,劉文成,付秀華,張靜,岳鵬飛,李爽.  真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報. 2019(12)
[2]退火溫度對Ta2O5/SiO2多層反射膜結(jié)構(gòu)和應(yīng)力特性的影響[J]. 劉保劍,段微波,李大琪,余德明,陳剛,王天洪,劉定權(quán).  物理學(xué)報. 2019(11)
[3]多角度偏振成像儀鬼像校正方法[J]. 張苗苗,孟炳寰,韓琳,洪津.  光子學(xué)報. 2019(01)
[4]超短紫外到近紅外寬波段增透膜的研制[J]. 張靜,林兆文,付秀華,劉冬梅,張功.  光子學(xué)報. 2018(10)
[5]偏振分光光學(xué)天線前向散射雜光仿真測試與抑制[J]. 呂娟,馬小龍,賀應(yīng)紅,閆興濤,解培月,于基睿,趙意意.  光子學(xué)報. 2016(04)
[6]用熱應(yīng)力法研究二氧化碲晶體表面連接層材料的特性[J]. 付秀華,潘永剛,董軍,劉冬梅,張靜.  光子學(xué)報. 2016(01)
[7]基片材料與沉積參數(shù)對薄膜應(yīng)力的影響[J]. 李玉瓊,喻志農(nóng),王華清,盧維強,薛唯,丁瞾.  光學(xué)學(xué)報. 2010(02)
[8]基于卡爾曼與模糊PID的高幀頻圖像識別跟蹤系統(tǒng)[J]. 黃海波,艾勇,陳晶,章勇勤,左韜,葉德茂.  光子學(xué)報. 2009(12)
[9]離子束輔助沉積和真空退火對硫化鋅薄膜應(yīng)力的影響[J]. 陳燾,羅崇泰,王多書,劉宏開,王濟洲,馬鋒.  真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報. 2009(S1)
[10]可見光波段及1064nm波長處用于Glan-Taylor棱鏡減反射膜[J]. 郝殿中,蘇富芳,宋連科,吳福全,李國華.  光子學(xué)報. 2009(02)



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