MBE法高質(zhì)量VO 2 薄膜生長(zhǎng)及其特性研究
發(fā)布時(shí)間:2022-02-14 13:39
科學(xué)研究表明,釩元素具有多種價(jià)態(tài),容易形成多種化合物,而且這些釩-氧化合物均具有較為獨(dú)特的相變性質(zhì)。其中,二氧化釩(VO2)成為人們較為關(guān)注以及研究的重點(diǎn)。VO2的臨界相變溫度為68oC,具有隨溫度變化,晶格結(jié)構(gòu)也隨之變化的獨(dú)特的相變性質(zhì)。低溫時(shí),VO2是高電阻率的單斜結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體或絕緣體晶相;高溫時(shí),VO2是低電阻率的四方金紅石結(jié)構(gòu)的金屬晶相。因此,VO2材料憑借其獨(dú)特的相變性質(zhì),使得它的其他光電性質(zhì)也隨之發(fā)生變化,從而令VO2材料在智能材料、智能調(diào)節(jié)以及智能節(jié)能等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。為了探究VO2薄膜材料在這幾方面的應(yīng)用以及穩(wěn)定性,我們采用MBE法制備高質(zhì)量VO2薄膜樣品,研究其在THz調(diào)制器和智能窗戶方面的應(yīng)用性能,以及其相變穩(wěn)定性。探究VO2材料相變的微觀機(jī)理及其光電特性變化,為實(shí)現(xiàn)VO2作為能源與功能材料的廣泛應(yīng)用提供理論上的指導(dǎo)。主...
【文章來(lái)源】:大連理工大學(xué)遼寧省211工程院校985工程院校教育部直屬院校
【文章頁(yè)數(shù)】:74 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【文章目錄】:
摘要
Abstract
引言
1 研究背景
1.1 VO_2材料的基本性質(zhì)及其相變機(jī)制
1.2 VO_2材料的基本應(yīng)用
1.3 VO_2薄膜的制備
1.4 VO_2材料的研究進(jìn)展及存在問(wèn)題
1.5 論文主要研究?jī)?nèi)容
2 本文采用的制備方法與表征手段
2.1 分子束外延法(MBE)
2.2 表征手段
3 藍(lán)寶石襯底VO_2薄膜的THz特性研究
3.1 引言
3.2 樣品制備及表征
3.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與表征分析
3.4 本章小結(jié)
4 石英玻璃襯底VO_2薄膜的特性研究
4.1 引言
4.2 樣品制備及其表征
4.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與表征分析
4.4 本章小結(jié)
5 藍(lán)寶石襯底VO_2薄膜的穩(wěn)定性研究
5.1 引言
5.2 樣品制備及表征
5.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與表征分析
5.4 本章小結(jié)
結(jié)論
展望
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文情況
攻讀碩士學(xué)位期間榮獲獎(jiǎng)勵(lì)情況
致謝
本文編號(hào):3624664
【文章來(lái)源】:大連理工大學(xué)遼寧省211工程院校985工程院校教育部直屬院校
【文章頁(yè)數(shù)】:74 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【文章目錄】:
摘要
Abstract
引言
1 研究背景
1.1 VO_2材料的基本性質(zhì)及其相變機(jī)制
1.2 VO_2材料的基本應(yīng)用
1.3 VO_2薄膜的制備
1.4 VO_2材料的研究進(jìn)展及存在問(wèn)題
1.5 論文主要研究?jī)?nèi)容
2 本文采用的制備方法與表征手段
2.1 分子束外延法(MBE)
2.2 表征手段
3 藍(lán)寶石襯底VO_2薄膜的THz特性研究
3.1 引言
3.2 樣品制備及表征
3.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與表征分析
3.4 本章小結(jié)
4 石英玻璃襯底VO_2薄膜的特性研究
4.1 引言
4.2 樣品制備及其表征
4.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與表征分析
4.4 本章小結(jié)
5 藍(lán)寶石襯底VO_2薄膜的穩(wěn)定性研究
5.1 引言
5.2 樣品制備及表征
5.3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與表征分析
5.4 本章小結(jié)
結(jié)論
展望
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表學(xué)術(shù)論文情況
攻讀碩士學(xué)位期間榮獲獎(jiǎng)勵(lì)情況
致謝
本文編號(hào):3624664
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