針對國產化大抽速分子泵測試需求,研制出基于CF400接口分子泵抽速測試裝置。采用量程為10～10^-9 Pam³/s的復合型標準氣體流量計提供可變的標準流量,僅用流量法實現(xiàn)了測試罩內氣體壓力處于10^-1～10^-7 Pa范圍的抽速測試,而傳統(tǒng)測試方法采用標準流導法和流量法相結合實現(xiàn)該范圍的測試;裝置集成了在線真空校準功能,用磁懸浮轉子真空計作為參考標準,實現(xiàn)在10^-1～10^-4 Pa范圍內對測試罩內氣體壓力的直接測量及副參考標準電離真空計的在線校準。研制的裝置與原有測試方法相比較優(yōu)點主要為:采用一種方法實現(xiàn)了分子泵抽速測試;在線校準技術解決了原有測量過程電離真空計靈敏度系數(shù)發(fā)生變化引起測量結果出現(xiàn)的較大偏差;實現(xiàn)對不同氣體抽速的直接測量,避免原方法只能給出等效氮氣測試結果的不足。實驗結果證明,裝置對分子泵抽速的測試范圍為3000～5000 L/s,測量結果的合成標準不確定度為2.2%～4.4%。 

【文章來源】：真空科學與技術學報. 2020,40(05)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 分子泵抽速測試方法
2 CF400接口分子泵抽速測試裝置
    2.1 測試罩模塊
    2.2 復合型流量計模塊[15-17]
    2.3 測量與校準模塊
    2.4 裝置測試范圍[12-21]
    2.5 測量不確定度評定[18-22]
    2.6 分子泵抽速測試數(shù)據
3 結論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]定容法正壓漏孔校準裝置[J]. 盧耀文,齊京,陳旭,劉志宏,張明志,閆睿,徐天偉,查良鎮(zhèn).  真空科學與技術學報. 2014(06)
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[3]便攜式真空漏孔校準裝置[J]. 盧耀文,陳旭,李得天,劉波,齊京,查良鎮(zhèn).  真空科學與技術學報. 2013(12)
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[7]分子泵的世紀回顧與展望[J]. 楊乃恒,巴德純,王曉冬,于治明.  真空. 2001(02)
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碩士論文
[1]多重牽引分子泵的的性能測試及其應用[D]. 王雅婷.合肥工業(yè)大學 2003



本文編號：3324623