發(fā)布時(shí)間：2021-08-05 23:19

　　針對(duì)國產(chǎn)化大抽速分子泵測試需求,研制出基于CF400接口分子泵抽速測試裝置。采用量程為10～10^-9 Pam³/s的復(fù)合型標(biāo)準(zhǔn)氣體流量計(jì)提供可變的標(biāo)準(zhǔn)流量,僅用流量法實(shí)現(xiàn)了測試罩內(nèi)氣體壓力處于10^-1～10^-7 Pa范圍的抽速測試,而傳統(tǒng)測試方法采用標(biāo)準(zhǔn)流導(dǎo)法和流量法相結(jié)合實(shí)現(xiàn)該范圍的測試;裝置集成了在線真空校準(zhǔn)功能,用磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)作為參考標(biāo)準(zhǔn),實(shí)現(xiàn)在10^-1～10^-4 Pa范圍內(nèi)對(duì)測試罩內(nèi)氣體壓力的直接測量及副參考標(biāo)準(zhǔn)電離真空計(jì)的在線校準(zhǔn)。研制的裝置與原有測試方法相比較優(yōu)點(diǎn)主要為:采用一種方法實(shí)現(xiàn)了分子泵抽速測試;在線校準(zhǔn)技術(shù)解決了原有測量過程電離真空計(jì)靈敏度系數(shù)發(fā)生變化引起測量結(jié)果出現(xiàn)的較大偏差;實(shí)現(xiàn)對(duì)不同氣體抽速的直接測量,避免原方法只能給出等效氮?dú)鉁y試結(jié)果的不足。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明,裝置對(duì)分子泵抽速的測試范圍為3000～5000 L/s,測量結(jié)果的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為2.2%～4.4%。 

【文章來源】：真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2020,40(05)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 分子泵抽速測試方法
2 CF400接口分子泵抽速測試裝置
    2.1 測試罩模塊
    2.2 復(fù)合型流量計(jì)模塊[15-17]
    2.3 測量與校準(zhǔn)模塊
    2.4 裝置測試范圍[12-21]
    2.5 測量不確定度評(píng)定[18-22]
    2.6 分子泵抽速測試數(shù)據(jù)
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[2]一種下限為1.3×10-14Pa·m3/s的真空漏孔校準(zhǔn)裝置[J]. 盧耀文,陳旭,李得天,齊京,劉波,閆睿,查良鎮(zhèn).  真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2014(05)
[3]便攜式真空漏孔校準(zhǔn)裝置[J]. 盧耀文,陳旭,李得天,劉波,齊京,查良鎮(zhèn).  真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2013(12)
[4]便攜式真空計(jì)校準(zhǔn)裝置[J]. 盧耀文,陳旭,李得天,齊京,查良鎮(zhèn).  真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2013(05)
[5]新型分子增壓泵的性能測試[J]. 蒙峻,楊曉天,張素平,儲(chǔ)繼國.  真空. 2008(04)
[6]分子泵對(duì)Xe氣抽速的測試[J]. 郭寧,邱家穩(wěn),江豪成.  真空. 2007(02)
[7]分子泵的世紀(jì)回顧與展望[J]. 楊乃恒,巴德純,王曉冬,于治明.  真空. 2001(02)
[8]往復(fù)真空泵抽速測試的理論探討[J]. 許沭華,胡煥林.  真空. 1997(03)

碩士論文
[1]多重牽引分子泵的的性能測試及其應(yīng)用[D]. 王雅婷.合肥工業(yè)大學(xué) 2003



本文編號(hào)：3324623