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一種測量圓柱腔內(nèi)壁介質(zhì)薄膜厚度的方法

發(fā)布時間:2021-08-01 14:26
  針對諧振腔傳感器內(nèi)壁水膜和鹽垢會降低濕度測量精度的問題,文章提出一種用于測量圓柱腔內(nèi)壁介質(zhì)薄膜厚度的方法。此方法基于介質(zhì)微擾法的原理,使用雙曲余弦開縫形諧振腔作為傳感器,工作于TE111模式來測量介質(zhì)薄膜厚度。以水膜為例,理論推導了諧振腔水膜厚度與諧振頻率的關(guān)系,并通過仿真分析了TE111模式準確測量水膜的可行性;采用矢量場方程的方法建立了TE111模式下諧振腔端面電流密度分布線的數(shù)學模型,并設(shè)計了雙曲余弦開縫形諧振腔傳感器。仿真結(jié)果表明:該諧振腔的電磁特性、輻射特性和流動特性均良好,電磁泄露率基本為0,取樣誤差為-1.25%,符合設(shè)計要求;可準確測量水膜、鹽垢、油膜和污垢等介質(zhì)薄膜的厚度,且它們的膜厚均與諧振頻率偏移量呈線性關(guān)系,與理論相符。 

【文章來源】:光通信研究. 2020,(02)北大核心

【文章頁數(shù)】:7 頁

【部分圖文】:

一種測量圓柱腔內(nèi)壁介質(zhì)薄膜厚度的方法


不同蒸汽濕度條件下水膜厚度d與諧振頻率偏移量的關(guān)系曲線

分布圖,電流密度,坐標,分布圖


式中,c為常數(shù)。取不同的c值,用Matlab軟件在極坐標下畫出曲線簇,圖2所示為極坐標下TE111模式的電流密度線分布圖。令φ=0,設(shè)(r0,0)為曲線與極軸的交點,則c與r0滿足關(guān)系c=J1(kc1r0),r0與c是一一對應(yīng)的關(guān)系。只要確定曲線與極軸的交點即可畫出過此交點的電流密度矢量線,且所有的矢量線均不相交。r0的范圍為0~20.59,對應(yīng)的c的范圍為-0.581 9~0.581 9。

尺寸,諧振腔,模式,諧振頻率


采用HFSS仿真軟件設(shè)計一個與濕度傳感器尺寸相同的圓柱諧振腔,內(nèi)徑R為20.59 mm,長度l為41.18 mm;該諧振腔內(nèi)部填充濕蒸汽,工作在TE111模式下。由于同軸線可以傳輸橫電磁波TEM模式且工作頻帶較寬,所以選用尺寸較小的同軸線做激勵。同軸線采用環(huán)耦合方式耦合到諧振腔,通過磁場耦合激勵起TE111模式。對耦合環(huán)的金屬直徑R2及環(huán)直徑R1進行優(yōu)化,優(yōu)化后得到:當R2為0.2 mm、R1為2.2 mm時,諧振腔在低頻段只能激勵起TE111模式,且附近沒有別的干擾模式。激勵耦合結(jié)構(gòu)的具體尺寸如圖3所示,藍色部分為導體材質(zhì)黃銅,白色部分為內(nèi)置絕緣體材料聚四氟乙烯(Teflon)。在實際工程中采用網(wǎng)絡(luò)分析儀來檢測諧振腔的諧振頻率。經(jīng)理論計算得知,此諧振腔工作在TE111模式下的諧振頻率在5.641 GHz,所以使用網(wǎng)絡(luò)分析儀掃描時將掃頻范圍設(shè)置在5.641 GHz附近的區(qū)間內(nèi),此時得到的諧振頻率即為諧振腔工作在TE111模式下的諧振頻率。3.1 隔離器金屬條數(shù)量及定位

【參考文獻】:
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
[1]基于UTDR管道污垢超聲場模擬與實驗研究[D]. 徐曼菲.東北電力大學 2017
[2]微帶縫隙諧振器測濕方法的研究[D]. 王凱.華北電力大學 2015



本文編號:3315694

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