以Mn,Co,Ni過渡族金屬為主的尖晶石結構材料（AB2O4）是一種具有電阻隨溫度上升而指數(shù)下降的材料,它具有較高的溫度-電阻系數(shù)（TCR）,工作溫度范圍和光譜的反應范圍廣,能夠長期穩(wěn)定工作等優(yōu)點,老化性能好,被廣泛應用于輻射熱測量計,非致冷型紅外探測儀和溫度測量計等精確測量儀器上,近年來,為了適應極端條件下器件的使用,因此對器件的準確度以及靈敏度有了更高的要求,而可持續(xù)發(fā)展也對材料制備過程中的無污染,能耗小提出了更高的要求,并且器件的集成化對器件的尺寸提出了更新的要求。因此,相較于傳統(tǒng)器件而言,靈敏度更高,尺寸更小的薄膜器件逐漸成為了 Mn-Co-Ni-O系薄膜器件的研究熱點。具有良好的結晶性且物理性能比較穩(wěn)定的過渡金屬氧化物薄膜是制備出滿足可靠性高,靈敏度高的薄膜器件的前提,在Mn基過渡金屬氧化物系材料的制備方面,主要是以物理方法為主,由于高溫固相合成法已經具備了較為成熟的工藝體系。因此本文以高溫固相法合成Mg,Al摻雜Mn-Co-Ni-O系材料陶磁靶材作為基礎,通過Mg,Al原子在尖晶石結構中的占位不同,來調控不同價態(tài)Mn離子的比例,以改變其電學性能及其光學性能。使用磁控濺射法濺... 

【文章來源】：陜西師范大學陜西省 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：61 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１－１小極化子跳躍導電模型示意圖??

對發(fā)生衍射時位置的測量，通過比對標準卡片，進而對該物質進行定性和定量分??析，也可以通過衍射峰位強度與角度的變化關系，進行晶粒大小和晶體擇優(yōu)取向??的檢測。其原理如圖２－１０所示：??Ｉ－出射狹縫?ｆ＇＼??射＜一?１１?１＾－??＇Ｉ?１?Ｔ．?／?樣??圖２－１?Ｘ射線衍射原理圖??Ｆｉｇ．?２－１?Ｐｒｉｎｃｉｐｌｅ?ｄｉａｇｒａｍ?ｏｆ?ｔｈｅ?Ｘ－ｒａｙ??Ｘ射線在晶體中發(fā)生衍射，衍射角（峰位）與晶體結構的關系遵循布拉格方程：??２ｄ?ｓｉｎ?６?＝?ｎＸ?（２－１）??其中，；Ｉ為Ｘ射線的波長，０是衍射角，ｄ為晶面間距，＾為衍射級數(shù)（整數(shù)）；??其示意圖如圖２－１１所示：??９??

ＡＦＭ接觸模式，輕敲模式，力調制模式等不同的工作模式，其中輕敲模??式以不損傷樣品的優(yōu)點被廣泛采用。在本論文的研究中，也選用了輕敲的接觸模??式。所用儀器如下圖２－３所示。??１０??

【參考文獻】：
期刊論文
[1]X射線衍射技術的發(fā)展和應用[J]. 楊新萍.  山西師范大學學報(自然科學版). 2007(01)



本文編號：3217371