透明導電氧化物薄膜被應用于眾多領域,氧化鋅基透明導電薄膜是替代氧化銦錫（ITO）薄膜的絕佳材料,可以降低材料成本。ZnO薄膜可以通過很多方法制備,主要分為兩類:一是物理制備方法,如脈沖激光沉積（PLD）,分子束外延（MBE）,原子層沉積（ALD）,交流或直流磁控濺射法等,它們的成本高昂,過程復雜;二是濕化學法制備,如溶膠-凝膠法,制備薄膜的工藝簡單,但是需要在500℃以上的高溫下進行。燃燒法可以在低溫下制備金屬氧化物,所以我們提出了在低溫下使用化學法來制備透明導電薄膜,進而在柔性PET襯底上制備柔性導電薄膜。達到降低工藝難度和制造成本的目的。本文研究主要內(nèi)容如下:1.利用溶膠-凝膠法和燃燒法的結(jié)合,得到醋酸鋅和硝酸鋅最優(yōu)比例為5:3。制備了In摻雜氧化鋅（IZO）薄膜。IZO薄膜光電性能良好。IZO薄膜的可見光波段的透過率在80%以上,導電性能達到了67.29?·cm。給出了溶膠-燃燒法的實驗機理。2.利用溶膠-燃燒法分別制備了Al和F摻雜ZnO薄膜,其中F摻雜氧化鋅（FZO）光電性能最佳,電阻率達到了36.87?·cm,可見光透過率在90%以上。250℃是溶膠-燃燒法的最佳退火溫度。... 

【文章來源】：長春理工大學吉林省

【文章頁數(shù)】：46 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

ZnO晶體的三種模型（a）六角纖鋅礦結(jié)構(gòu)（b）立方閃鋅礦結(jié)構(gòu)和（c）巖鹽礦結(jié)構(gòu)

圖 1.2 薄膜太陽能電池池板不同，它主要是由有機材料構(gòu)成核心部分，那么要透過窗口材料才能進入有機層進行光電轉(zhuǎn)換，同時質(zhì)將其傳輸，透明導電氧化物薄膜恰巧是這兩種特性作為新型太陽能電池中窗口材料的最佳選擇。在目前作中都還是以 ITO 為主，但是 ITO 層比較脆弱，缺乏而且制備它的設備需要真空條件，價格昂貴且復雜。O 的替代品是目前的研究熱點。器件絕對是顯示領域里的熱門課題，柔性屏也是未來顯示屏與我們目前使用的各種屏幕最大的區(qū)別在于襯、透明、價格低廉等諸多優(yōu)點，但是在柔性襯底上生臨著工藝問題，諸如三星這樣的屏幕制造大廠每年都然制備出了樣品，但是也只是試驗階段，就在 2017 年限公司也發(fā)布了一個柔性屏的樣品，它薄如紙張，呈

圖 1.3 京東方發(fā)布的柔性屏發(fā)展，各式各樣的智能手機層出不窮，為越少。不止是手機如此，包括平板電腦機行業(yè)，全球都在走全面屏時代，觸摸一了。電阻式觸摸屏的構(gòu)造如圖 1.4 所示層，它們是由 ITO 制備的。也有人利用 本實現(xiàn)觸摸屏的使用功能。說明氧化鋅屏中替代 ITO。圖 1.4 電阻式結(jié)構(gòu)圖發(fā)揮著巨大的使用價值，氧化鋅還具有


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