【摘要】：電容式微機(jī)械超聲換能器收發(fā)一體電路研究的難點(diǎn)為換能器模式的轉(zhuǎn)換和高頻微弱信號(hào)的檢測(cè)。文中利用限幅原理設(shè)計(jì)了收發(fā)隔離電路,實(shí)現(xiàn)了換能器發(fā)射與接收模式的分離,并設(shè)計(jì)了基于跨阻放大的檢測(cè)電路,實(shí)現(xiàn)了對(duì)高頻微弱信號(hào)的提取,克服了以上難點(diǎn)。通過(guò)水下測(cè)試系統(tǒng)的搭建,對(duì)其進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,結(jié)果表明收發(fā)一體電路的檢測(cè)精度可達(dá)到25 p F/s,同時(shí)該電路還具有良好的線性度和穩(wěn)定性。
[Abstract]:The difficulty in the research of capacitive micromechanical ultrasonic transducer is the conversion of transducer mode and the detection of high frequency weak signal. In this paper, a transceiver isolation circuit is designed by using the limiting principle, which realizes the separation of the transmission and receiving modes of the transducer, and the detection circuit based on transresistive amplification is designed to extract the high frequency weak signal and overcome the above difficulties. The experimental results show that the detection accuracy of the integrated transceiver circuit can reach 25p F / s, and the circuit has good linearity and stability.
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家杰出青年科學(xué)基金項(xiàng)目(61525107) 國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61127008)
【分類號(hào)】：TB552

【參考文獻(xiàn)】

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2 宋光德;官志堅(jiān);栗大超;;電容式微加工超聲傳感器(cMUT)的有限元仿真[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2006年05期

【共引文獻(xiàn)】

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2 趙蕾;張文棟;何常德;張國(guó)軍;;微電容檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)和噪聲分析[J];儀表技術(shù)與傳感器;2016年12期

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5 李玉平;何常德;張娟婷;張慧;宋金龍;薛晨陽(yáng);;基于C-SOI工藝的一維MEMS電容式超聲傳感器陣列[J];傳感器與微系統(tǒng);2015年03期

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9 張慧;宋光德;靳世久;官志堅(jiān);劉娟;;電容式微超聲傳感器的電極參數(shù)優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2010年07期

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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5 張小麗;縱彎及縱徑振動(dòng)模式轉(zhuǎn)換功率超聲換能器的研究[D];陜西師范大學(xué);2014年

6 劉世清;徑向及徑—扭復(fù)合振動(dòng)模式夾心式壓電超聲換能器研究[D];陜西師范大學(xué);2005年

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8 王福軍;芯片鍵合高速精密定位系統(tǒng)設(shè)計(jì)與控制[D];天津大學(xué);2010年

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1 張R，

本文編號(hào)：2393699