【摘要】：采用直流反應磁控濺射分別在200、250、300和350℃條件下沉積類富勒烯碳氮薄膜,利用X射線光電子能譜(XPS)和掃描電子顯微鏡(SEM)表征薄膜的微觀結構形貌,采用薄膜綜合性能測試儀以及通過大氣球盤摩擦試驗研究薄膜的力學性能及摩擦學性能。結果顯示:制備的類富勒烯CN_x薄膜中存在sp~2C-C、sp~2N-C和sp~3C-N化學鍵;隨著沉積溫度的升高,薄膜的結構變得更加致密,硬度、彈性模量以及彈性恢復系數(shù)逐漸增大,摩擦因數(shù)和磨損率降低;沉積溫度為350℃制備的薄膜摩擦因數(shù)和磨損率最低,表現(xiàn)出優(yōu)異的耐磨損性能。
[Abstract]:Fullerene-like carbon nitrogen films were deposited by DC reactive magnetron sputtering at 200250300 鈩，

本文編號：2207375