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聚合物輔助設計生長高質量多功能薄膜

發(fā)布時間:2018-07-03 06:09

  本文選題:聚合物 + 薄膜 ; 參考:《物理化學學報》2017年02期


【摘要】:隨著薄膜材料的日益發(fā)展和新型薄膜材料的不斷涌現,開發(fā)薄膜生長技術對于半導體和光電等科技領域的作用日益突出。本文主要介紹最近發(fā)展的聚合物輔助沉積從分子層面上控制生長高質量的薄膜材料。聚合物輔助沉積是一種生長高質量薄膜的化學水性溶液方法,將金屬離子與聚合物通過絡合、氫鍵或靜電等方式形成一種均勻穩(wěn)定的前驅體溶液,再經過超濾、成膜和熱處理形成高質量的金屬氧化物、金屬碳化物、金屬氮化物、金屬單質、金屬硫/硒化物等薄膜以及納米粒子等化合物或復合功能材料。該方法中水溶性的聚合物能通過絡合作用抑制金屬離子的水解使得溶液穩(wěn)定,并能精確控制薄膜的組分從而形成高質量的薄膜。該化學溶液方法的提出為科學技術領域提供了一種低成本和大面積制備薄膜的技術路線。本文最后總結和展望了聚合物輔助沉積法未來的挑戰(zhàn)和發(fā)展方向。
[Abstract]:With the development of thin-film materials and the emergence of new thin-film materials, the development of thin-film growth technology plays an increasingly important role in semiconductor and optoelectronic fields. In this paper, the recent development of polymer assisted deposition for controlling the growth of high quality thin film materials at the molecular level is introduced. Polymer assisted deposition is a chemical aqueous solution method for the growth of high quality thin films. Metal ions are formed by complexation, hydrogen bonding or static electricity to form a homogeneous and stable precursor solution, which is then ultrafiltered. High quality metal oxides, metal carbides, metal nitrides, metal elemental materials, metal sulfur / selenide films, nanoparticles and other compounds or composite functional materials are formed by film formation and heat treatment. In this method, water-soluble polymers can stabilize the solution by inhibiting the hydrolysis of metal ions by complexation, and can precisely control the composition of the films to form high-quality films. The proposed chemical solution method provides a low cost and large area technical route for the preparation of thin films in the field of science and technology. Finally, the challenges and future development of polymer assisted deposition are summarized and prospected.
【作者單位】: 蘇州大學物理與光電?能源學部蘇州納米科技協同創(chuàng)新中心;北京大學化學與分子工程學院;
【基金】:國家重點基礎研究發(fā)展規(guī)劃項目(973)(2015CB358600) 國家自然科學基金優(yōu)秀青年基金(21422103)資助~~
【分類號】:TB383.2

【參考文獻】

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【共引文獻】

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4 蔡s,

本文編號:2092688


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