本文選題：浮動(dòng)電極型單向換能器(FEUDT) + 單向聲表面波　； 參考：《微納電子技術(shù)》2017年01期

【摘要】：設(shè)計(jì)了一種浮動(dòng)電極型單向換能器(FEUDT)結(jié)構(gòu),用于激發(fā)單向聲表面波(SAW),從而實(shí)現(xiàn)液體的單向驅(qū)動(dòng)。通過(guò)對(duì)FEUDT結(jié)構(gòu)模型的阻抗分析與SAW傳播分析,獲得了SAW驅(qū)動(dòng)器的諧振頻率、最佳驅(qū)動(dòng)頻率和最優(yōu)指條寬度。利用剝離工藝,在128°旋轉(zhuǎn)Y切向X方向傳播的鈮酸鋰基板上,制作了周期為80μm、指條對(duì)數(shù)為40對(duì)、指條金屬層厚度為1μm、指條寬度為7.3μm的FEUDT型SAW驅(qū)動(dòng)器。搭建了SAW驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了液體在器件表面上單向驅(qū)動(dòng)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:FEUDT型SAW驅(qū)動(dòng)器在驅(qū)動(dòng)功率為4 W、驅(qū)動(dòng)頻率為48.8 MHz的電信號(hào)激勵(lì)下,液滴在SAW驅(qū)動(dòng)器表面上的驅(qū)動(dòng)速度可達(dá)50 mm/s;在驅(qū)動(dòng)功率為6.2 W、驅(qū)動(dòng)頻率為48.8 MHz的電信號(hào)激勵(lì)下,液體在微流道中的驅(qū)動(dòng)速度約為20 mm/s。
[Abstract]:A floating electrode type unidirectional transducer (FEUDT) is designed to excite unidirectional surface acoustic wave (saw) to realize the unidirectional driving of liquid. Based on the impedance analysis and saw propagation analysis of the FEUDT structure model, the resonant frequency, the optimal driving frequency and the optimum finger width of saw driver are obtained. A FEUDT type saw driver with a period of 80 渭 m, 40 pairs of finger pairs, 1 渭 m thickness of the strip metal layer and 7.3 渭 m width of the strip was fabricated on a 128 擄rotating Y tangential X direction lithium niobate substrate with a period of 80 渭 m, 40 pairs of finger pairs, 1 渭 m thickness of the strip metal layer and 7.3 渭 m width of the strip. The driving system of saw driver is built to realize the unidirectional drive of liquid on the surface of the device. The experimental results show that the driving speed of the droplet on the surface of saw driver can reach 50 mm / s when the driving power is 4W and the driving frequency is 48.8 MHz, and the driving power is 6.2 W and the driving frequency is 48.8 MHz. The velocity of the liquid in the microchannel is about 20 mm / s.
【作者單位】： 上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)理學(xué)院;日本立命館大學(xué)微系統(tǒng)系;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51405303) 上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)協(xié)同創(chuàng)新平臺(tái)項(xiàng)目(3921NH166019);上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué)畢業(yè)設(shè)計(jì)重點(diǎn)項(xiàng)目(33110T165029)
【分類號(hào)】：TB552

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本文編號(hào)：2071325