本文選題：摻氟二氧化錫(FTO) + 超聲振動��； 參考：《無機材料學報》2017年10期

【摘要】：在激光退火處理摻氟二氧化錫(FTO)透明導電薄膜過程中引入超聲振動,研究了超聲振動輔助激光退火對FTO薄膜晶體結(jié)構(gòu)、表面形貌和光電性能的影響。結(jié)果表明:與未施加超聲振動時相比,該方法可使薄膜上下位移而引起激光聚焦狀態(tài)發(fā)生連續(xù)變化,由此保證薄膜處于最佳退火范圍內(nèi),同時還可使薄膜表面激光熔融區(qū)域的顆粒被振動分散,由此抑制顆粒團聚,提高顆粒分布的均勻性和致密度,最終有效地改善薄膜的光電性能。當振動功率為300 W時,薄膜表面結(jié)構(gòu)最為均勻、致密和平整,此時光電性能達到最佳,它在400~800 nm波段的平均透光率為84.7%,方塊電阻為9.0?/。
[Abstract]:The effect of ultrasonic vibration on the crystal structure, surface morphology and optoelectronic properties of FTO thin films was studied. The results show that the laser focusing state can be continuously changed by this method compared with those without ultrasonic vibration, which ensures that the film is in the optimal annealing range. At the same time, the particles in the laser melting region on the film surface can be vibrated and dispersed, which can restrain the particle agglomeration, improve the uniformity and density of the particle distribution, and finally improve the photoelectric properties of the film effectively. When the vibration power is 300 W, the surface structure of the thin film is the most uniform, compact and smooth, and the optoelectronic performance is the best. The average transmittance of the film is 84.7 and the square resistance is 9.0% at 800 nm band.
【作者單位】： 江蘇大學機械工程學院;江蘇大學光子制造科學技術(shù)中心江蘇省重點實驗室;江蘇大學材料科學與工程學院;
【基金】：國家973計劃(2011CB013004) 國家自然科學基金(61405078) 江蘇省自然科學基金(BK20140567) 江蘇省重點研發(fā)計劃(BE2015037) 江蘇省高校自然科學研究項目(11KJA460003,14KJB430008) 江蘇省博士后科研資助計劃項目(1402090B,1601008B) 江蘇省“六大人才高峰”項目(2013-ZBZZ-025)~~
【分類號】：TB383.2

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本文編號：1905746