本文選題：微納幾何量 + 關(guān)鍵尺寸　； 參考：《儀器儀表學(xué)報(bào)》2017年08期

【摘要】：隨著微納技術(shù)中材料和器件關(guān)鍵尺寸的減小以及幾何結(jié)構(gòu)復(fù)雜性的增加,給微納尺度的精確測量帶來了新的挑戰(zhàn)。微納幾何量計(jì)量技術(shù)主要是研究微納尺度下測量量值的準(zhǔn)確一致,并實(shí)現(xiàn)量值溯源到國際長度基本單位的科學(xué)。為保證微納技術(shù)的領(lǐng)先優(yōu)勢,國外先進(jìn)國家一直高度重視微納幾何量計(jì)量技術(shù)的研究。目前,我國在微納計(jì)量領(lǐng)域已成功研制了多種微納幾何量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置,并初步建立了我國自己的微納計(jì)量溯源體系。對我國現(xiàn)有的微納幾何量計(jì)量技術(shù)與計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置進(jìn)行了回顧和介紹,并對我國微納計(jì)量的未來發(fā)展做出了展望。
[Abstract]:With the decrease of the key dimensions of materials and devices and the increase of geometric complexity in micro and nano technology, new challenges are brought to the precise measurement of micro and nano scale. The measurement technique of micro and nano geometry is mainly to study the accuracy and consistency of measurement value at micro and nano scale, and to realize the science of tracing the value to the basic unit of international length. In order to ensure the leading advantage of micro-nano technology, advanced countries have always attached great importance to the research of micro-nano geometry measurement technology. At present, China has successfully developed a variety of micro-nano geometric measurement standard devices in the field of micro-nano metrology, and preliminarily established our own trace system of micro-nano metrology. This paper reviews and introduces the existing micro-nano geometry metering technology and metrology standard equipment in China, and makes a prospect for the future development of micro-nano measurement in our country.
【作者單位】： 中國計(jì)量科學(xué)研究院;
【基金】：國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃(2016YFF0200602);國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃(2016YFF0200404)項(xiàng)目資助
【分類號】：TB92

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本文編號：1820741