本文選題：透明導(dǎo)電薄膜 + 介質(zhì)/金屬/介質(zhì)��； 參考：《科學(xué)通報(bào)》2017年05期

【摘要】：透明導(dǎo)電薄膜(TCF)兼具良好的導(dǎo)電性和透光性,已作為電極被廣泛應(yīng)用于光電器件領(lǐng)域.目前普遍使用的透明電極主要是銦錫氧化物(ITO)和摻鋁氧化鋅等透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜,但由于ITO的生產(chǎn)需要稀缺原材料銦,而其他TCO薄膜的導(dǎo)電性和可見(jiàn)光透明性尚需提高,并且由于氧化物材料固有的脆性,TCO薄膜的柔性較差,不能完全滿足當(dāng)前柔性電子器件的發(fā)展需求.因而,對(duì)于具有優(yōu)異性能的無(wú)銦、柔性TCF的研究近年來(lái)受到研究者的廣泛關(guān)注.基于介質(zhì)/金屬/介質(zhì)結(jié)構(gòu)的多層復(fù)合TCF同時(shí)具有高的電導(dǎo)率、透光性以及良好的機(jī)械柔性,可以滿足目前柔性電子器件的應(yīng)用需求,而且其還具有功函數(shù)可通過(guò)選擇介質(zhì)層材料調(diào)節(jié)、可利用連續(xù)的卷對(duì)卷技術(shù)室溫下在廉價(jià)塑料襯底上沉積等獨(dú)特優(yōu)勢(shì),因而更具實(shí)用價(jià)值.本文簡(jiǎn)要綜述了近幾年基于介質(zhì)/金屬/介質(zhì)結(jié)構(gòu)的多層復(fù)合TCF的研究工作,首先分析了其透光率和面電阻對(duì)各層材料種類(lèi)及厚度的依賴(lài)關(guān)系,然后介紹了多層復(fù)合TCF的結(jié)構(gòu)類(lèi)型,接著討論了改善其綜合光電性能的技術(shù),最后分析了其在光電器件領(lǐng)域應(yīng)用時(shí)應(yīng)考慮的其他重要性質(zhì).
[Abstract]:Transparent conductive thin films (TCFs) have been widely used as electrodes in the field of optoelectronic devices because of their good conductivity and transmittance. At present, the main transparent electrodes used are indium tin oxide (ITO) and transparent conductive oxide (TCO) films, such as zinc oxide doped aluminum. However, due to the production of ITO, indium is a scarce raw material, while the conductivity and visible transparency of other TCO films need to be improved. Because of the poor flexibility of the brittle TCO thin films, the oxide materials can not fully meet the development needs of the current flexible electronic devices. Therefore, the research of flexible TCF without indium with excellent performance has been paid more and more attention in recent years. Multilayer composite TCF based on dielectric / metal / dielectric structure has high conductivity, light transmittance and good mechanical flexibility, which can meet the application needs of flexible electronic devices. Moreover, it has the unique advantages that the work function can be adjusted by selecting the dielectric layer material, and can be deposited on the cheap plastic substrate at room temperature by continuous winding technology, so it has more practical value. In this paper, the research work of multilayer composite TCF based on dielectric / metal / dielectric structure in recent years is briefly reviewed. Firstly, the dependence of transmittance and surface resistance on the type and thickness of each layer material is analyzed. Then, the structure types of multilayer composite TCF are introduced, and the techniques to improve its integrated photoelectric performance are discussed. Finally, other important properties that should be considered in the application of multilayer composite TCF in optoelectronic devices are analyzed.
【作者單位】： 河北大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院河北省光電信息材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61504036) 河北省重點(diǎn)基礎(chǔ)研究計(jì)劃(12963930D) 河北省高層次人才項(xiàng)目(B2014003020) 河北大學(xué)博士啟動(dòng)基金(2012-235)資助
【分類(lèi)號(hào)】：TB383.2

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本文編號(hào)：1819409