本文選題：薄膜 + 均勻性　； 參考：《激光與光電子學(xué)進(jìn)展》2017年03期

【摘要】：采用原子層沉積技術(shù)實(shí)現(xiàn)了膜層厚度均勻性小于3.5%的銀飾TiO_2保護(hù)薄膜的制備。X射線衍射測(cè)試結(jié)果表明,沉積溫度為100℃時(shí)薄膜為無(wú)定型結(jié)構(gòu),沉積溫度為250℃時(shí)薄膜為銳鈦礦相。腐蝕實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,30nm和45nm厚度的TiO_2薄膜都具一定的抗變色能力,但厚度為45nm的TiO_2薄膜的抗變色能力更佳。光譜測(cè)試結(jié)果表明,在不影響銀飾外觀的前提下,單層TiO_2作為保護(hù)膜的抗變色效果無(wú)法達(dá)到最佳。
[Abstract]:The preparation of silver TiO_2 protective films with thickness less than 3.5% by atomic layer deposition was investigated. The results of X-ray diffraction showed that the films were amorphous at 100 鈩，

本文編號(hào)：1776869