本文選題：電容式微機(jī)械加工超聲換能器　切入點(diǎn)：驅(qū)動(dòng)電路　出處：《儀表技術(shù)與傳感器》2017年03期

【摘要】：電容式微機(jī)械加工超聲換能器(cMUT)具有頻帶寬、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn),而設(shè)計(jì)高壓高頻的驅(qū)動(dòng)電路則是實(shí)現(xiàn)其優(yōu)異性能的前提。針對(duì)現(xiàn)有驅(qū)動(dòng)電路體積過大等問題,在對(duì)換能器簡(jiǎn)化模型做有限元分析求得其工作電壓基礎(chǔ)上,提出了用FPGA控制8片脈沖發(fā)射專用芯片HV7350直接驅(qū)動(dòng)換能器64陣元的方案。并對(duì)其中一個(gè)通道進(jìn)行了驗(yàn)證,產(chǎn)生的30VPP、400 k Hz脈沖使換能器能夠在0.5 m距離下接收到4.4VPP的一次回波信號(hào)。本驅(qū)動(dòng)電路具有高度集成,操作簡(jiǎn)單,幅值可調(diào),頻率可控的特點(diǎn),為cMUT的應(yīng)用提供了可行的參考。
[Abstract]:Capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUTs) has the advantages of high frequency bandwidth and high sensitivity, and the design of high voltage and high frequency drive circuit is the prerequisite to realize its excellent performance. Based on the finite element analysis of the simplified model of the transducer, the scheme of using FPGA to control the 64 elements of the transducer with the special chip HV7350 of 8 pulse emitters is proposed, and one of the channels is verified. The generated 30V PPP 400kHz pulse enables the transducer to receive the primary echo signal of 4.4VPP at a distance of 0.5 m. The drive circuit has the characteristics of high integration, simple operation, adjustable amplitude and controllable frequency. It provides a feasible reference for the application of cMUT.
【作者單位】： 中北大學(xué)儀器與電子學(xué)院儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61127008)
【分類號(hào)】：TB552

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