本文關(guān)鍵詞： TiZrN薄膜 摩擦磨損 微觀結(jié)構(gòu) 反應(yīng)磁控濺射　出處：《材料保護》2017年08期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：為了進一步評價Zr含量對TiZrN薄膜摩擦學(xué)性能的影響,采用反應(yīng)磁控濺射法制備了Ti_(1-x)Zr_xN薄膜(0.14x0.56)。通過XRD,SEM技術(shù)分析了TiZrN薄膜的微觀結(jié)構(gòu),考察了不同Zr含量時TiZrN薄膜的摩擦磨損性能。結(jié)果表明:TiZrN薄膜的晶體結(jié)構(gòu)不因Zr的加入而改變,仍為面心立方結(jié)構(gòu);TiZrN薄膜為合金化復(fù)合膜,Zr以置換方式固溶于TiN中,隨著Zr含量的升高,晶粒明顯細化,柱狀晶生長模式發(fā)生轉(zhuǎn)變;TiZrN薄膜結(jié)構(gòu)致密且硬度更高,小晶粒在摩擦磨損中能有效阻止裂紋的擴展,其抗摩擦磨損性能較TiN薄膜有明顯的提高。
[Abstract]:In order to further evaluate the effect of Zr content on the tribological properties of TiZrN films, Ti_(1-x)Zr_xN thin films were prepared by reactive magnetron sputtering. The microstructure of TiZrN films was analyzed by XRD-SEM. The friction and wear properties of TiZrN thin films with different Zr content were investigated. The results show that the crystal structure of the TiZrN films is not changed by Zr addition, and the TiZrN thin films are alloyed in TiN. With the increase of Zr content, the grain size is obviously refined, and the columnar crystal growth mode is changed. The structure of TiZrN thin film is denser and the hardness is higher. The small grain can effectively prevent the crack from propagating during friction and wear. The friction and wear resistance of the film is obviously improved than that of TiN film.
【作者單位】： 山東科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【基金】：山東省科技發(fā)展資助計劃項目“多主元高熵合金及涂層技術(shù)研究”(2013GGB01096)
【分類號】：TB383.2

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本文編號：1499710