在半導(dǎo)體材料生產(chǎn)過程中,完成制作各項(xiàng)工藝任務(wù)的多種機(jī)臺(tái)設(shè)備組成了緊密而復(fù)雜的生產(chǎn)設(shè)備網(wǎng)絡(luò)。每種機(jī)臺(tái)設(shè)備完成不同的生產(chǎn)任務(wù)均需消耗一定量的能源資源,目前國內(nèi)一些企業(yè)仍處于手工抄表的方式獲取能耗數(shù)據(jù),能耗管理的科學(xué)性和效率亟待提高。部分新建項(xiàng)目認(rèn)識(shí)到能耗管理的重要性,開始為企業(yè)配備專門的能耗管理系統(tǒng),但大多是針對全廠的整體能耗管理。對生產(chǎn)過程中所需能耗數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)分析目前還沒有專門的管理系統(tǒng)來完成。針對工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域在能耗管理方面存在的問題,本文以某半導(dǎo)體企業(yè)機(jī)臺(tái)控制系統(tǒng)項(xiàng)目為研究背景,以半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)中的某生產(chǎn)機(jī)臺(tái)為應(yīng)用對象,設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了基于SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的機(jī)臺(tái)能耗管理系統(tǒng)。通過在國內(nèi)某知名半導(dǎo)體光電企業(yè)生產(chǎn)車間的實(shí)踐工作,熟悉當(dāng)前全球半導(dǎo)體行業(yè)通用的生產(chǎn)設(shè)備與主控計(jì)算機(jī)間的通訊標(biāo)準(zhǔn),針對工作過程中發(fā)現(xiàn)的當(dāng)前企業(yè)能耗管理系統(tǒng)應(yīng)用的不足。本文基于SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn),對系統(tǒng)中所使用的SECS/GEM協(xié)議進(jìn)行通訊格式設(shè)計(jì),使用WinSECS、ADO.NET Entity Framework、Serilog、DevExpress等多種框架進(jìn)行開發(fā),采用Microsoft SQL Server作... 

【文章來源】：陜西師范大學(xué)陜西省 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：69 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖４－１系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖??Ｆｉｇｕｒｅ?４－１?Ｓｙｓｔｅｍ?ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ?ｄｉａｇｒａｍ??由圖４－１可看出機(jī)臺(tái)能耗管理系統(tǒng)通過ＴＣＰ／ＩＰ協(xié)議連接各個(gè)生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的自動(dòng)??

Ｍｅｓｓａｇｅ）對初始消息進(jìn)行響應(yīng)。??在此模型中傳輸數(shù)據(jù)的最小單位是字節(jié)，被轉(zhuǎn)換為連續(xù)的ＴＣＰ／ＩＰ字節(jié)流。ＨＳＭＳ??的報(bào)文格式如圖４－６所示。??字節(jié)含義?消ｓ長嗖?涓息頭部?消息內(nèi)容??Ｓ３?ＣＨ３?［＝：］??子Ｔ？數(shù)?‘彳?】〇?（）－－ｎ??圖４－６?ＨＳＭＳ報(bào)文格式??Ｆｉｇｕｒｅ?４－６?ＨＳＭＳ?ｍｅｓｓａｇｅ?ｆｏｎｎａｔ??上圖中消息長度占用４字節(jié)，表現(xiàn)形式為４字節(jié)的無符號(hào)整數(shù)，代表消息頭??部和消息內(nèi)容的字節(jié)數(shù)之和。消息頭部字節(jié)數(shù)為１０，其中每個(gè)字節(jié)所表示含義如??表４－１２所示。??其中會(huì)話標(biāo)識(shí)占了?０、１兩個(gè)字節(jié)序號(hào)共計(jì)１６位無符號(hào)整數(shù)，也稱Ｓｅｓｓｉｏｎ?ＩＤ??或Ｄｅｖｉｃｅ?ＩＤ，用來關(guān)聯(lián)后續(xù)消息內(nèi)容；頭部字節(jié)２作為等待位和ＳＥＣＳ流（ＳＥＣＳ??Ｓｔｒｅａｍ）；頭部字節(jié)３作為等待位和ＳＥＣＳ功能（ＳＥＣＳ?Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）；表示類型代表消??息內(nèi)容的編碼類型會(huì)話類型表示消息的類型，在本系統(tǒng)中采用０作為ＨＳＭＳ消??息數(shù)據(jù)。會(huì)話類型的不同取值代表不同的消息類型；６－９位的系統(tǒng)字節(jié)作為當(dāng)前事??務(wù)的唯一標(biāo)識(shí)。??要建立ＨＳＭＳ通訊需要首先建立基于ＴＣＰ／ＩＰ協(xié)議的套接字（ｓｏｃｋｅｔ）接口。??在這種客戶端與服務(wù)器之間的通訊中，通過網(wǎng)絡(luò)通訊模塊內(nèi)置的相關(guān)方法，可以??很方便地實(shí)現(xiàn)雙方主機(jī)互發(fā)消息進(jìn)行交互的功能［４Ｇ］。??２８??

５．４登錄功能實(shí)現(xiàn)??為了防止系統(tǒng)內(nèi)數(shù)據(jù)信息外泄，本系統(tǒng)采用用戶登錄模式進(jìn)行身份驗(yàn)證。系??統(tǒng)登錄界面如圖５－２所示。??ｃ３登錄系統(tǒng)?Ｌ一ｊ?．ｍ」：??用戶登錄??用尸名??密碼??登錄?；退出丨??圖５－２系統(tǒng)登錄界面??Ｆｉｇｕｒｅ?５－２?Ｓｙｓｔｅｍ?ｌｏｇｉｎ?ｉｎｔｅｒｆａｃｅ??當(dāng)用戶輸入用戶名和對應(yīng)的密碼，點(diǎn)擊登錄后，系統(tǒng)會(huì)校驗(yàn)當(dāng)前文本輸入是??否合法，并對當(dāng)前密碼做ＭＤ５加密后存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫用戶表中，關(guān)鍵代碼如下。??ｓｔｒｉｎｇ?ｓｔｒＵｓｅｒＰｓｗｄ?＝?ｎｕｌｌ；??ｓｔｒｉｎｇ?ｓｔｒＵｓｅｒＮａｍｅ?＝?ｔｂ＿ｕｓｅｍａｍｅ．Ｔｅｘｔ．ＴｏＳｔｒｉｎｇ（）．Ｔｒｉｍ（）；??＃ｒｅｇｉｏｎ對用戶輸入的密碼進(jìn)行ＭＤ５加密??ｂｙｔｅ［］?ｐｓｗ?＝?Ｅｎｃｏｄｉｎｇ．Ｄｅｆａｕｌｔ．ＧｅｔＢｙｔｅｓ（ｔｂ＿ｕｓｅｒｐａｓｓ．Ｔｅｘｔ．ＴｏＳｔｒｉｎｇ（）．Ｔｒｉｍ〇）；??ＭＤ５?ｍｄ５?＝?ｎｅｗ?ＭＤ５ＣｒｙｐｔｏＳｅｒｖｉｃｅＰｒｏｖｉｄｅｒ（）；??ｂｙｔｅ［］?ＨａｓｈＯｕｔＰｕｔ?＝?ｍｄ５．ＣｏｍｐｕｔｅＨａｓｈ（ｐｓｗ）；??ｓｔｒＵｓｅｒＰｓｗｄ?＝?ＢｉｔＣｏｎｖｅｒｔｅｒ．ＴｏＳｔｒｉｎｇ（ＨａｓｈＯｕｔＰｕｔ）．Ｒｅｐｌａｃｅ（Ｍ－，Ｖ，Ｍ）；??＃ｅｎｄｒｅｇｉｏｎ??登陸成功后會(huì)跳轉(zhuǎn)至主界面

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
[1]基于SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體后段SDT系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[D]. 賀從愿.東南大學(xué) 2017
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[8]基于Web Service的半導(dǎo)體設(shè)備Interface A標(biāo)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)[D]. 劉波.復(fù)旦大學(xué) 2012
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本文編號(hào)：2981629