本文關(guān)鍵詞：200mm硅外延軟件控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

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【摘要】：集成電路產(chǎn)業(yè)作為當(dāng)今世界經(jīng)濟(jì)競(jìng)爭(zhēng)的焦點(diǎn),日益成為經(jīng)濟(jì)發(fā)展的命脈和國(guó)家國(guó)防安全的保障。“十二五”期間,國(guó)家在半導(dǎo)體集成電路制造設(shè)備方面高度重視,要求建立和發(fā)展具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè),在設(shè)備和軟件等研發(fā)和生產(chǎn)方面取得突破,提升我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力。因此掌握具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成套先進(jìn)工藝與所需新材料技術(shù),以及相應(yīng)的半導(dǎo)體設(shè)備控制軟件等相關(guān)產(chǎn)業(yè)和技術(shù),擺脫我國(guó)高端集成電路制造設(shè)備、工藝、軟件控制等完全依賴進(jìn)口的狀況,確保國(guó)防安全和經(jīng)濟(jì)安全具有至關(guān)重要的意義。穩(wěn)定可靠的軟件系統(tǒng)是集成電路設(shè)備非常關(guān)鍵的保障因素,但是我國(guó)在半導(dǎo)體集成電路的軟件控制開(kāi)發(fā)領(lǐng)域長(zhǎng)期處理落后地位,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)多是購(gòu)買國(guó)外先進(jìn)設(shè)備,軟件控制系統(tǒng)為設(shè)備附帶產(chǎn)品,因此在軟件使用、軟件升級(jí)、軟件問(wèn)題解決上受制于人,根本談不上自定義開(kāi)發(fā)軟件。另一方面,國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商研發(fā)的軟件在軟件架構(gòu)和開(kāi)發(fā)思想上落后,設(shè)備軟件控制單一,無(wú)法形成體系,并且開(kāi)發(fā)的軟件系統(tǒng)功能不符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),在工藝運(yùn)行過(guò)程中核心的任務(wù)調(diào)度和管理形式不靈活等問(wèn)題。因此實(shí)現(xiàn)較為困難,造成了軟件系統(tǒng)使用費(fèi)用高、核心技術(shù)無(wú)法掌握、無(wú)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)等問(wèn)題。本課題以北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司集成設(shè)備研發(fā)中心研發(fā)的200mm硅外延設(shè)備為背景,從技術(shù)需求分析、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)分析、軟件總體設(shè)計(jì)、軟件詳細(xì)設(shè)計(jì)、軟件開(kāi)發(fā)與全面測(cè)試等流程進(jìn)行分析研究,并且對(duì)該設(shè)備的軟件系統(tǒng)進(jìn)行分析和研究,完成軟件系統(tǒng)的開(kāi)發(fā),形成符合半導(dǎo)體設(shè)備自動(dòng)化控制要求和半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的整套控制軟件系統(tǒng)。是一套完整的、擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的、高性能的半導(dǎo)體通用軟件系統(tǒng),打破了國(guó)外半導(dǎo)體行業(yè)控制軟件的壟斷,解決半導(dǎo)體集成電路設(shè)備軟件系統(tǒng)使用費(fèi)用高、核心技術(shù)無(wú)法掌握、無(wú)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)等問(wèn)題。
【學(xué)位授予單位】：北京工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TP311.52
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本文編號(hào)：1234737