隨著全球科技的飛速發(fā)展和醫(yī)療水平的進(jìn)步,人類(lèi)的平均壽命大大提高,我國(guó)將無(wú)可避免地邁入老齡化社會(huì)。疾病的早期診斷和實(shí)時(shí)的健康監(jiān)控在未來(lái)會(huì)顯得尤為重要�，F(xiàn)有的醫(yī)療檢測(cè)儀器都十分龐大、昂貴,不適合家庭使用。因此,小型化、便攜式、可穿戴的醫(yī)療檢測(cè)裝置在醫(yī)療健康領(lǐng)域?qū)⒂泻艽蟮陌l(fā)展前景。傳感器是小型化醫(yī)療檢測(cè)裝置中核心的電子單元,它們把環(huán)境中的模擬量轉(zhuǎn)化為可供觀察的數(shù)字量,開(kāi)發(fā)高性能、小型化傳感器是目前的研究熱點(diǎn)。近些年,聲表面波（SAW）器件在傳感領(lǐng)域備受關(guān)注,基于SAW器件的傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比,具有體積小,靈敏度高,成本低,功耗低,能和半導(dǎo)體工藝相結(jié)合等優(yōu)點(diǎn),并且,SAW器件還可實(shí)現(xiàn)無(wú)線無(wú)源測(cè)量,非常適合在醫(yī)療健康領(lǐng)域使用。SAW器件還可作為微流體器件,用于對(duì)微流體中的細(xì)胞進(jìn)行精確操控、篩選、排列、驅(qū)動(dòng)等,在組織工程和再生醫(yī)學(xué)領(lǐng)域有很大的應(yīng)用前景。本文主要研究的是新型SAW器件在醫(yī)療健康領(lǐng)域的應(yīng)用,主要包括兩個(gè)方面:1、小型、可穿戴的新型傳感器研究;2、SAW微流體器件研究。本論文設(shè)計(jì)并制作了兩種類(lèi)型的SAW呼吸傳感器,用于阻塞性睡眠呼吸暫停綜合征的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),一種基于128°Y-X Li ... 

【文章來(lái)源】：浙江大學(xué)浙江省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

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【學(xué)位級(jí)別】：博士

【部分圖文】：

（a）單端口諧振型SAW器件；（b）延遲線型SAW器件；（c）雙端口諧振型SAW器件；（d）SAWRFID器件

浙江大學(xué)博士學(xué)位論文4決定，可由式（1.1）計(jì)算得到[28]。有時(shí)為了改善器件的頻率特性或者實(shí)現(xiàn)特定的頻率響應(yīng)，需要改變、、等參數(shù)，以得到不同的加權(quán)系數(shù)和延遲時(shí)間，這就用到了加權(quán)IDT，典型的結(jié)構(gòu)圖如圖1.2（b）所示。加權(quán)IDT中各部位的金屬化率相差較大，金屬化率高的部位等效聲速較低，相位滯后，從而導(dǎo)致了波陣面的畸變。波陣面的畸變會(huì)導(dǎo)致器件性能的下降，所以為了使波陣面變均勻，通常會(huì)采用如圖1.2（c）所示帶有假指的變跡加權(quán)IDT。由于假指與鄰近電極具有相同的電勢(shì)，所以不會(huì)對(duì)波陣面的激勵(lì)產(chǎn)生貢獻(xiàn)，但它對(duì)聲表面波的傳播相位起到補(bǔ)償作用，從而使波陣面得到明顯改善。圖1.2IDT的結(jié)構(gòu)圖：（a）均勻IDT；（b）加權(quán)IDT；（c）帶假指的加權(quán)IDT=（1.1）壓電襯底的聲速對(duì)溫度、濕度、壓力、應(yīng)變、振動(dòng)等環(huán)境參數(shù)十分敏感，因此可將SAW器件作為溫度傳感器[4,5]、濕度傳感器[6,7]、壓力傳感器[10,11]、應(yīng)變傳感器[12]等，結(jié)合化學(xué)敏感膜，也可用來(lái)測(cè)量生化參數(shù)[7]。基于SAW器件的傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比，具有體積小，靈敏度高，成本低，功耗低，能和半導(dǎo)體工藝相結(jié)合等優(yōu)點(diǎn)，并且，SAW器件還可實(shí)現(xiàn)無(wú)線無(wú)

無(wú)線無(wú)源傳感系統(tǒng)

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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[2]聲表面波諧振器的高溫?zé)o線傳感特性研究[D]. 舒琳.電子科技大學(xué) 2016
[3]新型聲表面波傳感器及微流體致動(dòng)器研究[D]. 王文博.浙江大學(xué) 2016
[4]柔性聲表面波器件基礎(chǔ)研究[D]. 周劍.浙江大學(xué) 2015
[5]薄膜體聲波諧振器（FBAR）技術(shù)的若干問(wèn)題研究[D]. 金浩.浙江大學(xué) 2006
[6]無(wú)源無(wú)線聲表面波傳感器及儀器系統(tǒng)研究[D]. 李平.重慶大學(xué) 2003



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